[發(fā)明專利]一種精密針孔對準調(diào)試方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310730695.4
• 申請日: 2013-12-26
• 公開（公告）號: CN103698896A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孔晨暉;張運海
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院蘇州生物醫(yī)學工程技術(shù)研究所
• 主分類號: G02B27/30
• 分類號: G02B27/30
• 代理公司: 深圳市科進知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316
• 代理人: 宋鷹武;沈祖鋒

1.一種精密針孔對準調(diào)試系統(tǒng)，其特征在于，包括激光器、第一半反半透鏡、第二半反半透鏡、第一聚焦透鏡、第二聚焦透鏡、第三聚焦透鏡、第四聚焦透鏡、針孔裝置、三維調(diào)整臺、全反鏡、第一CCD以及第二CCD；

所述三維調(diào)整臺調(diào)整針孔裝置中針孔的方向位置；

所述激光器、第一聚焦透鏡以及第二聚焦透鏡搭建聚焦擴束光路，所述全反鏡放置在聚焦擴束光路上，以使光路能原路返回；

所述激光器發(fā)射的激光通過第一半反半透鏡透射到第一聚焦透鏡，并繼續(xù)經(jīng)過針孔裝置的針孔、第二聚焦透鏡、第二半反半透鏡反射到第四聚焦透鏡上，所述第二CCD位于第四聚焦透鏡焦點處；所述全反鏡將經(jīng)過第二半反半透鏡透射的光路原路返回；原路返回的激光再次透過第二半反半透鏡、第二聚焦透鏡、針孔裝置的針孔和第一聚焦透鏡，在第一半反半透鏡處反射到第三聚焦透鏡，所述第一CCD位于第三聚焦透鏡焦點處；

通過精調(diào)第一聚焦透鏡和第二聚焦透鏡的間距，使第一、第二CCD的焦點像最小，并調(diào)整針孔裝置中針孔的XY方向位置，使第二CCD上能看到激光焦點像，并調(diào)整針孔的Z方向位置，使第二CCD的焦點像最亮；在第一CCD上觀察返回光的像，若觀察不到，對第一、第二聚焦透鏡的方位進行微調(diào)，使反射光焦點能在第一CCD上成像；重復針孔方向位置和第一、第二聚焦透鏡的方位的調(diào)整，直到第一、第二CCD上都形成有激光焦點像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密針孔對準調(diào)試系統(tǒng)，其特征在于，所述針孔裝置包括針孔和工裝。

3.一種精密針孔對準調(diào)試方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、由激光器、第一聚焦透鏡以及第二聚焦透鏡搭建聚焦擴束光路；

S2、在聚焦擴束光路上放置全反鏡以使光路能原路返回，并繼續(xù)放置第一半反半透鏡、第三聚焦透鏡、第一CCD、第二半反半透鏡、第四聚焦透鏡、第二CCD，所述激光器發(fā)射的激光通過第一半反半透鏡透射到第一聚焦透鏡，并繼續(xù)經(jīng)過第二聚焦透鏡、第二半反半透鏡反射到第四聚焦透鏡上，并進一步會聚到第二CCD上；所述激光器發(fā)射的激光透過第二半反半透鏡后，經(jīng)全反鏡原路返回，再次透過第二半反半透鏡、第二聚焦透鏡、針孔裝置的針孔和第一聚焦透鏡，通過第一半反半透鏡反射第三聚焦透鏡，并進一步會聚到第一CCD上；

S3、通過精調(diào)第一聚焦透鏡和第二聚焦透鏡的間距，使第一、第二CCD的焦點像最小；

S4、在第一、第二聚焦透鏡之間放入置于三維調(diào)整臺上的針孔裝置，調(diào)整針孔裝置中針孔的XY方向位置，使第二CCD上能看到激光焦點像；調(diào)整針孔的Z方向位置，使第二CCD的焦點像最亮；

S5、在第一CCD上觀察返回光的像，若觀察不到，須微調(diào)第一、第二聚焦透鏡的方位，使反射光焦點能在第一CCD上成像；

S6、重復步驟S4和S5，直到第一、第二CCD上都形成激光焦點像；

S7、固定激光器、第一、第二聚焦透鏡，移除全反鏡、第一半反半透鏡、第三聚焦透鏡、第一CCD、第二半反半透鏡、第四聚焦透鏡、第二CCD。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種精密針孔對準調(diào)試方法，其特征在于，所述方法進一步包括將針孔裝置進行移除。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種精密針孔對準調(diào)試方法，其特征在于，所述方法進一步包括在原來位置處搭建第二半反半透鏡、第四聚焦透鏡、第二CCD，先在第二CCD上記錄此時激光焦點位置，然后移入針孔裝置，使第二CCD對針孔成像，并將針孔裝置的針孔運動到之前記錄的激光焦點位置處。