[發明專利]感光性組合物與光刻膠

有效

• 申請號: 201310730591.3
• 申請日: 2013-12-26
• 公開（公告）號: CN104423166B
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 林顯光;陳素梅;鄭昭德;劉玉玲;陳素惠
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G03F7/033
• 分類號: G03F7/033
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

本發明涉及一種感光性組合物與光刻膠。光刻膠由一感光性組合物經配制而形成。感光性組合物包括一粘合劑(binder agent)、一第一光反應單體(photomonomer)以及一光引發劑。粘合劑的化學結構具有表示如下的重復單元(repeating unit)I：其中R₁為H或CH₃，R₂為C₂～C₄的亞烷基，n為2～40的整數，A為H或第一光反應單體(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2個以上的不飽和丙烯酸酯系官能基，以粘合劑的固含量為100重量份為基準，第一光反應單體約為25～95重量份。光引發劑以粘合劑的固含量為100重量份為基準，光引發劑約為0.5～15重量份。

技術領域

本發明涉及感光性組合物及光刻膠(photoresist)，特別是有關于由生質材料形成的感光性組合物及光刻膠。

背景技術

電子產業的光刻(lithography)工藝例如印刷電路板工藝會使用大量的光刻膠。一般的光刻膠，比方說負型光刻膠(negative type photoresist)，主要全是由石油化學品例如丙烯酸酯(壓克力，acrylate)系列原料所形成。當光刻膠在光刻程序例如顯影、剝膜步驟等后，會成為無法回收使用的廢棄物。這種廢棄物每年有數千噸的產生量，且多是以掩埋或焚化等的方式處理。因此，光刻膠不但非常耗費石油材料，并且對自然環境有不良的影響。

發明內容

本發明涉及一種感光性組合物。感光性組合物與光刻膠主要是采用具有可生物分解性的生質材料形成，因此可再生使用，且不會對自然環境造成負荷。

根據本發明的一實施例，提出一種感光性組合物。感光性組合物包括一丙烯酸酯系粘合劑(acrylic binder agent)、一第一光反應單體(photomonomer)以及一光引發劑。第一光反應單體具有至少一乳酸寡聚物及2個以上的不飽和丙烯酸酯系官能基，以粘合劑的固含量為100重量份為基準，第一光反應單體約為25～95重量份。以粘合劑的固含量為100重量份為基準，光引發劑約為0.5～15重量份

根據本發明的另一實施例，提出一種感光性組合物。感光性組合物包括一粘合劑(binder agent)、一第一光反應單體以及一光引發劑。粘合劑的化學結構具有表示如下的重復單元(repeating unit)I：

其中R₁為H或CH₃，R₂為C₂～C₄的亞烷基，n為2～40的整數，A為H或第一光反應單體(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物及2個以上的不飽和丙烯酸酯系官能基。以粘合劑的固含量為100重量份為基準，第一光反應單體約為25～95重量份。以粘合劑的固含量為100重量份為基準，光引發劑約為0.5～15重量份。

根據本發明的又一實施例，提出一種光刻膠。光刻膠由前述的感光性組合物經配制而形成。

具體實施方式

為了對本發明的上述及其它方面有更佳的了解，下文特舉較佳實施例作詳細說明如下：

根據本發明的實施例，感光性組合物包括一粘合劑(binder agent)、一第一光反應單體(photomonomer)及一光引發劑。

粘合劑是由一粘合組合物經聚合反應而成。實施例中，粘合劑例如是丙烯酸酯系粘合劑(acrylic binder agent)。舉例來說，粘合組合物包括一乳酸寡聚物，粘合劑例如由帶有不飽和丙烯酸酯系官能基的乳酸寡聚物經共聚合反應而制得。共聚合反應可以是經由加熱進行的溶液聚合法。