[發明專利]二氧化碳氣體傳感器及其制備方法

無效

• 申請號: 201310728757.8
• 申請日: 2013-12-25
• 公開（公告）號: CN103645216A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 謝光忠;周泳;黃俊龍;解濤;杜曉松;太惠玲;蔣亞東
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 李順德;王睿

1.二氧化碳氣體傳感器，包括襯底（1），所述襯底（1）的上表面設置有叉指電極（2），其特征在于：所述叉指電極（2）表面沉積有顆粒狀支撐體形成的非連續薄膜（4），所述非連續薄膜（4）表面沉積有氧化石墨烯構成的二氧化碳敏感薄膜（3），所述二氧化碳敏感薄膜（3）通過顆粒支撐體之間的間隙與叉指電極（2）接觸。

2.如權利要求1所述的二氧化碳氣體傳感器，其特征在于：所述顆粒狀支撐體為氧化鋅顆粒。

3.如權利要求1或2所述的二氧化碳氣體傳感器，，其特征在于：所述襯底（1）采用二氧化硅或硅材料制作而成。

4.二氧化碳氣體傳感器的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

A、制備醋酸鋅溶膠；

B、將醋酸鋅溶膠沉積在叉指電極（2）上，所述叉指電極（2）固定在襯底（1）上；

C、將沉積有醋酸鋅溶膠的叉指電極（2）放置在高溫環境中，醋酸鋅溶膠被氧化形成氧化鋅顆粒；

D、將氧化石墨烯溶液沉積在經過步驟C處理后的叉指電極（2）表面，并進行干燥處理。

5.如權利要求4所述的二氧化碳氣體傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟A中，采用溶膠凝膠法制備醋酸鋅溶膠，具體如下：將適量的二水合乙酸鋅溶于定量的無水乙醇中，然后加入定量的乙醇胺作為穩定劑并攪拌一段時間得到前驅液，然后加入冰醋酸和氨水形成醋酸鋅溶膠。

6.如權利要求5所述的二氧化碳氣體傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟B中，將醋酸鋅溶膠通過氣噴成膜的工藝沉積在叉指電極（2）上。

7.如權利要求6所述的二氧化碳氣體傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟C中，將沉積有醋酸鋅溶膠的叉指電極（2）放置在溫度為300℃的環境中，醋酸鋅溶膠被氧化形成氧化鋅顆粒。

8.如權利要求7所述的二氧化碳氣體傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟D中，將氧化石墨烯溶液通過氣噴成膜的工藝沉積在經過步驟C處理后的叉指電極（2）表面。

9.如權利要求8所述的二氧化碳氣體傳感器的制備方法，其特征在于：在步驟D中，所述干燥處理采用真空干燥的方式，并且所述真空干燥的時間為兩天。