[發明專利]自動化物料傳輸系統

在審

• 申請號: 201310727915.8
• 申請日: 2013-12-25
• 公開（公告）號: CN103708226A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 計軍
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G35/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及半導體集成電路物料輸送機臺技術領域，尤其涉及一種自動化物料傳輸系統。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm硅片已經逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

現有的AMHS系統均采用懸掛于天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間（tool?to?tool輸送模式），或往返于機臺與暫存區Stocker之間（走道間系統interbay與走道內系統intrabay）。如圖1所示的采用走道間、走道內的輸送系統，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有硅片盒堆疊部20（load?port），OHT輸送車70（overhead?hoist?transport）能抓起堆疊部20上的硅片盒30，并通過軌道結構60傳送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內的輸送過程稱為走道內系統110，而硅片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統100。走道內系統110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至暫存區50中暫時儲存，等到需要用到此硅片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10處。

一般而言，一個AMHS系統中有多輛輸送車同時運行執行任務，所有輸送車都是通過總控制單元信號連接，來指揮輸送車的行駛路線。如果AMHS系統規模很大，則需要非常龐大的控制系統，通過有線線路的排布來實現各個輸送車和總控制單元之間的信號連接相當耗時耗力，且一旦在運作過程中某處線路出現故障，將無法控制這些輸送車，給整個系統的穩定性和安全性帶來隱患。

發明內容

本發明的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種自動化物料傳輸系統。

為實現上述目的，本發明提供一種自動化物料傳輸系統，其包括矩陣狀布設的機臺、多根縱向軌道和橫向軌道懸吊設置的軌道結構、設于軌道結構上行駛的至少一輛輸送車、總控制單元，其中，該輸送車上設有無線信號發射器和無線信號接收器，該自動化物料傳輸系統還布設有多個無線信號收發站，該無線信號收發站與其信號范圍內的輸送車信號連接，該無線信號收發站還與總控制單元信號連接。

進一步地，所有該無線信號收發站的信號范圍總和覆蓋該軌道結構。

進一步地，該無線信號收發站與總控制單元通過有線或無線信號連接。

進一步地，該輸送車具有控制單元，并與該輸送車的無線信號接收器信號連接。

本發明的自動化物料傳輸系統，通過多個無線信號收發站的設置，可以監控每個無線信號收發站信號范圍內的所有輸送車，總控制單元可將指令發送至無線信號收發站，由無線信號收發站轉送至各輸送車。本發明分區域的管控方式省去了繁雜的有線線路，也提高了AMHS系統的穩定性和安全性。

附圖說明

為能更清楚理解本發明的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細描述，其中：

圖1是現有自動化物料傳輸系統的結構示意圖；

圖2是本發明第一實施例的AMHS系統示意圖。

具體實施方式

第一實施例

請參閱圖2，本實施例中的自動化物料傳輸系統，其包括矩陣狀布設的機臺11、多根縱向軌道21和橫向軌道22懸吊設置的軌道結構、設于軌道結構上行駛的至少一輛輸送車31、總控制單元（未圖示）。

其中，輸送車31上設有無線信號發射器、無線信號接收器和控制單元（未圖示），控制單元與無線信號接收器信號連接。自動化物料傳輸系統還布設有四個無線信號收發站，即第一分站41、第二分站42、第三分站43和第四分站44，四個無線信號收發站的信號范圍分別如圖2所示的第一信號范圍A、第二信號范圍B、第三信號范圍C和第四信號范圍D，并分別與其信號范圍內的輸送車信號連接，四個無線信號收發站還與總控制單元信號通過有線網絡信號連接。如圖可見，四個無線信號收發站的信號范圍總和已經覆蓋了整個軌道結構。

本實施例中無線信號收發站的主要作用包括兩個：第一，轉發總控制單元的指令，并發送給各信號范圍內的各輸送車，再由各輸送車的控制單元驅動其行駛；第二，接收各信號范圍內輸送車發出的信號，監控其方位、有無硅片盒裝載等信息，并發送給總控制單元。