[發明專利]高度調節式掃描電鏡樣品座無效
| 申請號: | 201310727245.X | 申請日: | 2013-12-25 |
| 公開(公告)號: | CN103700562A | 公開(公告)日: | 2014-04-02 |
| 發明(設計)人: | 嚴永林 | 申請(專利權)人: | 蘇州新銳合金工具股份有限公司 |
| 主分類號: | H01J37/20 | 分類號: | H01J37/20 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人: | 王玉國;陳忠輝 |
| 地址: | 215121 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高度 調節 掃描電鏡 樣品 | ||
【權利要求書】:
1.高度調節式掃描電鏡樣品座,其特征在于:包含用于放置樣品及調整樣品位置的旋轉基座、固定于樣品臺上的套筒和彈簧,所述旋轉基座的下底面凸設有中心軸,中心軸上套置有彈簧,中心軸的下端通過螺紋與套筒相旋接,彈簧的上端與旋轉基座的下底面相抵接,彈簧的下端與套筒的上頂面相抵接。
2.根據權利要求1所述的高度調節式掃描電鏡樣品座,其特征在于:所述套筒的上端凸設有臺階。
3.根據權利要求1所述的高度調節式掃描電鏡樣品座,其特征在于:所述旋轉基座上沿徑向設有夾持凹槽。
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