[發(fā)明專利]除塵車及AMHS系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310727167.3
• 申請(qǐng)日: 2013-12-25
• 公開（公告）號(hào): CN103662740A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): B65G45/10
• 分類號(hào): B65G45/10
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送機(jī)臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種除塵車及AMHS系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，300mm硅片已經(jīng)逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會(huì)降低效率，還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí)，半導(dǎo)體制造對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴(yán)苛，自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個(gè)機(jī)臺(tái)之間（tool?to?tool輸送模式），或往返于機(jī)臺(tái)與暫存區(qū)Stocker之間（走道間系統(tǒng)interbay與走道內(nèi)系統(tǒng)intrabay）。如圖1所示的采用走道間、走道內(nèi)的輸送系統(tǒng)，機(jī)臺(tái)走道每一邊的每一臺(tái)機(jī)臺(tái)10安裝有硅片盒堆疊部20（load?port），OHT輸送車70（overhead?hoist?transport）能抓起堆疊部20上的硅片盒30，并通過軌道結(jié)構(gòu)60傳送至另一臺(tái)機(jī)臺(tái)10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內(nèi)的輸送過程稱為走道內(nèi)系統(tǒng)110，而硅片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統(tǒng)100。走道內(nèi)系統(tǒng)110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統(tǒng)100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至?xí)捍鎱^(qū)50中暫時(shí)儲(chǔ)存，等到需要用到此硅片盒30時(shí)，再同樣以輸送車70搬送到指定機(jī)臺(tái)10處。

AMHS系統(tǒng)對(duì)廠房空間內(nèi)的潔凈度要求是很高的，若某個(gè)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生了粉塵、雜質(zhì)等污染物，將對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和安全性帶來極大隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于彌補(bǔ)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種除塵車及AMHS系統(tǒng)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于AMHS系統(tǒng)的除塵車，其包括車身、懸吊于軌道上的車輪和控制單元，其中，該除塵車上還設(shè)有除塵裝置，該除塵裝置包括安裝在車身上并可伸縮的機(jī)械臂、安裝于機(jī)械臂前端的吸塵嘴以及污物收集器。

進(jìn)一步地，該機(jī)械臂由至少兩段直臂可折疊式連接而成。

進(jìn)一步地，該機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于車身上。

進(jìn)一步地，該吸塵嘴可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于機(jī)械臂前端。

進(jìn)一步地，該除塵車車身或除塵裝置上還設(shè)有攝像頭。

進(jìn)一步地，該攝像頭設(shè)于機(jī)械臂前端。

進(jìn)一步地，該污物收集器固定于機(jī)械臂上或車身上。

本發(fā)明還提供一種AMHS系統(tǒng)，其包括多個(gè)機(jī)臺(tái)、軌道結(jié)構(gòu)、至少一輛輸送車、總控制單元以及至少一輛上述除塵車。

本發(fā)明的除塵車及AMHS系統(tǒng)，通過在小車上設(shè)置除塵裝置，可以及時(shí)清除AMHS系統(tǒng)中產(chǎn)生的粉塵顆粒等污染物，保持空間的潔凈度。

附圖說明

為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，其中：

圖1是現(xiàn)有自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例的除塵車結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

第一實(shí)施例

請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)施例中的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車1，其包括車身11、懸吊于軌道上的車輪12和控制單元（未圖示）。其中，除塵車1上還設(shè)有除塵裝置，除塵裝置包括安裝在車身11上并可伸縮的機(jī)械臂24、安裝于機(jī)械臂24前端的吸塵嘴21以及污物收集器23。

本實(shí)施例中，機(jī)械臂24由兩段直臂可折疊式連接而成；吸塵嘴21通過軟管22與污物收集器23連接，以將吸入的污物傳至污物收集器中。

在其他實(shí)施例中，吸塵嘴可以通過常用的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于機(jī)械臂的前端，機(jī)械臂亦可以常用的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于車身上，以實(shí)現(xiàn)360°的吸塵范圍；另外，污物收集器還可固定于機(jī)械臂上。

在其他實(shí)施例中，機(jī)械臂的前端還設(shè)有攝像頭，并與吸塵嘴平行，以供操作人員實(shí)時(shí)觀察除塵空間的畫面，更直觀、有效地控制除塵車，執(zhí)行除塵作業(yè)。

第二實(shí)施例

本實(shí)施例的AMHS系統(tǒng)，其包括矩陣狀布設(shè)的機(jī)臺(tái)、多根縱向軌道和橫向軌道懸吊設(shè)置的軌道結(jié)構(gòu)、設(shè)于軌道結(jié)構(gòu)上行駛的至少一輛輸送車、總控制單元以及至少一輛上述第一實(shí)施例的除塵車，該除塵車設(shè)于軌道結(jié)構(gòu)上行駛。