[發明專利]一種芯片固晶機的控制方法及控制系統

在審

• 申請號: 201310725895.0
• 申請日: 2013-12-25
• 公開（公告）號: CN103681429A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 曾祥進;黃紫青;王海暉;李曉林;蔡敦波;魯統偉
• 申請（專利權）人: 武漢工程大學
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 王丹

1.一種芯片固晶機的控制方法，其特征在于：它包括以下步驟：

步驟1、獲取運動平臺的圖像，圖像中包含晶圓信息；

步驟2、根據圖像確定運動平臺上的晶圓與被操作對象的位置關系：

2.1、對所獲取的運動平臺的圖像進行預處理；

2.2、對預處理后的圖像利用邊緣檢測算法得到邊緣圖像；

2.3、對邊緣圖像提取不變矩特征；

2.4、根據不變矩特征，采用分類算法得到晶圓的三維坐標；分類算法具體包括：采用粗糙集理論完成樣本特征屬性的重要性判定，得到系統的屬性約簡，然后根據約簡后的屬性進行支持向量機預測分類；

2.5、建立雅可比矩陣模型，獲得關節空間坐標下運動平臺上的晶圓與其目標位置之間的位置關系；晶圓的目標位置在被操作對象上；

步驟3、根據步驟2得到的位置關系控制末端執行器運動，使得運動平臺上的晶圓運動至其目標位置；

步驟4、控制末端執行器進行固晶。

2.根據權利要求1所述的芯片固晶機的控制方法，其特征在于：所述的預處理包括對圖像進行灰度處理和二值化處理。

3.根據權利要求1所述的芯片固晶機的控制方法，其特征在于：所述的邊緣檢測算法選用canny邊緣算子進行計算。

4.根據權利要求1所述的芯片固晶機的控制方法，其特征在于：所述的雅可比矩陣模型為基于BROYDEN模型的圖像雅可比矩陣模型。

5.一種芯片固晶機的控制系統，其特征在于：它包括以下模塊：

圖像獲取模塊，用于獲取運動平臺的圖像，圖像中包含晶圓信息；

圖像處理與目標識別模塊，用于根據圖像確定運動平臺上的晶圓與被操作對象的位置關系，具體包括：

預處理模塊，用于對所獲取的運動平臺的圖像進行預處理；

邊緣檢測模塊，用于對預處理后的圖像利用邊緣檢測算法得到邊緣圖像；

特征提取模塊，用于對邊緣圖像提取不變矩特征；

分類模塊，用于根據不變矩特征，采用分類算法得到晶圓的三維坐標；分類算法具體包括：采用粗糙集理論完成樣本特征屬性的重要性判定，得到系統的屬性約簡，然后根據約簡后的屬性進行支持向量機預測分類；

定位模塊，用于建立雅可比矩陣模型，獲得關節空間坐標下運動平臺上的晶圓與其目標位置之間的位置關系；晶圓的目標位置在被操作對象上；

運動控制模塊，用于根據圖像處理與目標識別模塊得到的位置關系控制末端執行器運動，使得運動平臺上的晶圓運動至其目標位置；

固晶控制模塊，用于控制末端執行器進行固晶。