[發(fā)明專利]一種740合金表面抗氧化涂層的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310724765.5
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN103710669A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚毅;游小剛;李佳艷;石爽;廖嬌;秦世強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/16
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 21212
• 代理人: 趙淑梅;李馨

1.一種740合金表面抗氧化涂層的制備方法，其特征在于：所述方法為電子束物理氣相沉積法，其包括預(yù)熱和沉積的步驟，所述預(yù)熱步驟為：于電子束物理氣相沉積裝置真空室真空度小于5×10^-2Pa，電子槍體真空度小于5×10^-3Pa下，電子束轟擊740合金基板，束流大小為30～60mA，轟擊時(shí)間3～5min。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述沉積步驟為：保持預(yù)熱后的740合金表面溫度下進(jìn)行沉積，所述沉積靶材為NiAl合金，束流大小為300～400mA，沉積時(shí)間10～20min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述預(yù)熱和沉積的步驟在具有兩個(gè)電子槍的電子束物理氣相沉積裝置中進(jìn)行，具體為：

預(yù)熱步驟：于電子束物理氣相沉積裝置真空室真空度小于5×10^-2Pa，電子槍體真空度小于5×10^-3Pa下，啟動左側(cè)電子槍，使其束流大小為30～60mA，掃描半徑為10×10或15×15或20×20，同時(shí)調(diào)整電子束入射路徑，使其轟擊到740合金基板上，對740合金進(jìn)行預(yù)熱處理，預(yù)熱時(shí)間為3～5min；

沉積步驟：預(yù)熱完畢后啟動右側(cè)電子槍，同時(shí)使左側(cè)電子槍保持參數(shù)不變，以低于30mA/min速度緩慢增加右側(cè)電子槍束流大小，緩慢熔化水冷銅坩堝中的NiAl合金；當(dāng)增至300～400mA后，使其保持穩(wěn)定，同時(shí)保持掃描半徑大小為15×15，沉積時(shí)間10～20min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述方法包括740合金基板預(yù)處理的步驟，具體如下：

使用砂紙對740合金基板進(jìn)行磨樣處理，砂紙的使用順序依次為：200#、600#、1000#、1200#、2000#，每個(gè)型號的砂紙只磨一次，每次磨樣的方向要與前一次磨樣后樣品的劃痕方向垂直，磨到前一次磨樣產(chǎn)生的劃痕全部消失為止；使用粒度為W1.5的人造金剛石研磨膏對合金的表面進(jìn)行拋光處理，直至表面無劃痕；將740合金基板進(jìn)行超聲清洗10～30min，之后將合金至于烘干箱中進(jìn)行干燥處理，干燥時(shí)間為4～8h，溫度為50～80℃。