[發明專利]有機發光二極管陣列的制備方法有效
| 申請號: | 201310724098.0 | 申請日: | 2013-12-25 |
| 公開(公告)號: | CN104752630A | 公開(公告)日: | 2015-07-01 |
| 發明(設計)人: | 簡良能;鄭榮安;安東;朱振東;林昌廷;吳逸蔚;李群慶;范守善 | 申請(專利權)人: | 清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L51/50 |
| 代理公司: | 無 | 代理人: | 無 |
| 地址: | 100084 北京市海淀區清*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 發光二極管 陣列 制備 方法 | ||
1.一種有機發光二極管陣列的制備方法,其包括:
提供一基板;
在上述基板一表面形成有序排列的多個凸部,每個凸部對應至少一子像素;
至少在多個凸部的頂面形成多個第一電極,多個第一電極相互間隔設置;
在每個第一電極的表面轉印形成一電激發光層作為有機發光層,其中,對應同一像素單元的三個電激發光層分別為發不同顏色光的電激發光層,且該三個電激發光層的制備方法包括:
提供一印模,并在該印模的表面形成一有機電激發光薄膜;
僅使對應同一像素單元的三個第一電極中的一個第一電極的表面與該有機電激發光薄膜接觸;
使該一個第一電極與該印模分離,并在該一個第一電極的表面形成一電激發光層;以及
采用上述方法在所述對應同一像素單元的三個第一電極中的另外兩個第一電極的表面形成電激發光層;
形成一圖案化的第二絕緣層,且該圖案化的第二絕緣層將位于相鄰的凸部之間的基板表面覆蓋,且使該有機發光層至少頂面暴露;以及
形成至少一第二電極,該至少一第二電極位于所述有機發光層遠離基板的一側且與該有機發光層電連接。
2.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述基板包括一薄膜晶體管陣列,該薄膜晶體管陣列包括多個薄膜晶體管,每個薄膜晶體管對應一子像素,且所述在基板的表面形成有序排列的多個凸部具體包括:
形成一連續的第一絕緣層覆蓋該薄膜晶體管陣列;以及
在該第一絕緣層遠離該薄膜晶體管陣列的表面形成該多個凸部,且每個凸部對應至少一薄膜晶體管。
3.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述基板包括一薄膜晶體管陣列,該薄膜晶體管陣列包括多個薄膜晶體管,每個薄膜晶體管對應一子像素;所述形成有序排列的多個凸部的步驟為形成多個呈陣列設置的凸部,每個凸部對應一薄膜晶體管設置,在每個凸部的表面形成一第一電極,每個第一電極對應一個薄膜晶體管且與該對應的薄膜晶體管電連接。
4.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述基板包括一薄膜晶體管陣列,該薄膜晶體管陣列包括多個薄膜晶體管,每個薄膜晶體管對應一子像素;所述形成有序排列的多個凸部的步驟為形成多個平行且間隔設置的條形凸部,每個凸部對應一列薄膜晶體管設置,且在每個凸部的表面形成多個相互間隔的第一電極,每個第一電極對應一個薄膜晶體管且與該對應的薄膜晶體管電連接。
5.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述至少在所述多個凸部的頂面形成多個第一電極的方法包括:
形成一連續的導電層將該多個凸部覆蓋;
圖案化該連續的導電層形成多個相互間隔設置的第一電極,且每個第一電極至少設置于對應凸部的頂面和側面。
6.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述在該印模的表面形成有機電激發光薄膜之前,先在該印模的表面形成一潤濕層,所述使第一電極與印模分離的之前或分離的過程中對該印模進行熱處理。
7.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述在每個第一電極的表面轉印形成一電激發光層的方法為:通過一次轉印在對應同一子像素的第一電極的表面形成發相同顏色光的電激發光層。
8.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述在該印模的表面形成一有機電激發光薄膜,且僅使該一個第一電極的表面與該有機電激發光薄膜接觸的方法為:
所述印模具有對應的第二凸部,從而使該印模的表面具有不同高度的第一表面和第二表面;
在該印模的表面形成有機電激發光薄膜,且位于第一表面的有機電激發光薄膜高于位于第二表面的有機電激發光薄膜;以及
使該一個第一電極的表面與位于第一表面的有機電激發光薄膜接觸,而另外兩個第一電極與該位于第二表面的有機電激發光薄膜間隔且懸空設置。
9.如權利要求1所述的有機發光二極管陣列的制備方法,其特征在于,所述僅使該一個第一電極的表面與該有機電激發光薄膜接觸的方法為:僅在該印模表面與該一個第一電極對應的位置形成有機電激發光薄膜。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





