[發明專利]一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法

有效

• 申請號: 201310722031.3
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN103715303A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 胡海波
• 申請（專利權）人: 衡水英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 李榮文

1.一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法，其制作步驟包括硅片預處理——一次低溫擴散——高溫推進——出舟，其特征在于還包括二次低溫擴散；所述二次低溫擴散在高溫推進步驟之后、出舟之前進行；所述二次低溫擴散時的溫度為700℃-800℃。

2.根據權利要求１所述的一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法，其特征在于所述二次低溫擴散時的溫度為750℃。

3.根據權利要求１所述的一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法，其特征在于所述二次低溫擴散時，溫度穩定后，通入攜磷源氮氣、氧氣和氮氣進行恒定源擴散，擴散時間為6-8min；所述攜磷源氮氣的流量為600-800sccm，氧氣的流量為600-800sccm，氮氣的流量為7-8slm。

4.根據權利要求１所述的一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法，其特征在于所述一次低溫擴散時，將預處理過的硅片放于擴散爐中，升溫至700-800℃，通入攜磷源氮氣、氧氣和氮氣進行恒定源擴散，擴散時間為14-16min；所述攜磷源氮氣的流量為1200-1600sccm，氧氣的流量為1200-1300sccm，氮氣的流量為7-8slm。

5.根據權利要求１所述的一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法，其特征在于所述高溫推進時，停止通入攜磷源氮氣，將溫度升至820-850℃，通入氧氣和氮氣，進行推進，氧氣的流量為900-1200sccm，氮氣的流量為7-8slm，擴散時間為14-16min。

6.根據權利要求１所述的一種提高太陽能電池填充的擴散制結方法，其特征在于所述磷源為三氯氧磷，源溫恒定在19-21℃。