[發(fā)明專利]一種高效擴(kuò)散的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310719747.8
• 申請(qǐng)日: 2013-12-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103715301A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李旺;韓瑋智;牛新偉;王仕鵬;黃海燕;陸川
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江正泰太陽(yáng)能科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11370
• 代理人: 馮譜

1.一種高效擴(kuò)散的方法，其特征在于，包括如下步驟：

a）將硅片置于擴(kuò)散爐中，通入含有磷源的氣體，對(duì)所述硅片進(jìn)行第一次擴(kuò)散；

b）對(duì)所述硅片的方阻進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)所述硅片的方阻值比預(yù)定值低4Ω/□～8Ω/□時(shí)，在690℃～720℃的溫度下，對(duì)所述硅片進(jìn)行第二次擴(kuò)散；

c）在氮?dú)獗Ｗo(hù)下，對(duì)所述硅片進(jìn)行出爐操作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟b）時(shí)，對(duì)所述擴(kuò)散爐中通入氧氣和氮?dú)饨M成的保護(hù)氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在所述保護(hù)氣體中，氧氣的含量為0～30%。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟b）的執(zhí)行時(shí)間為20min～40min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟a）進(jìn)一步為將硅片置于擴(kuò)散爐中，并向擴(kuò)散爐中通入含有磷源的小N₂，N₂和O₂對(duì)所述硅片進(jìn)行第一次擴(kuò)散。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一次擴(kuò)散的溫度為860℃～890℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述第一次擴(kuò)散中，各氣體通量范圍如下：小N₂：1.8～2.3slm；N₂：15～21slm；O₂：1.1～1.4slm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟a）的執(zhí)行時(shí)間為15min～20min。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟c）具體為，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下，保持溫度為690℃～720℃，將所述硅片從所述擴(kuò)散爐中取出。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟c）中通入的氮?dú)獾耐糠秶鸀?5slm～21slm。