[發明專利]表面檢測裝置

有效

• 申請號: 201310718843.0
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN103676240B
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 井楊坤;林曉華;車曉盼;孫國防
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G01B17/00;G01B17/06
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,黃燦

1.一種表面檢測裝置，用于顯示面板上器件的表面檢測，其特征在于，所述表面檢測裝置包括：

呈陣列分布的超聲換能檢測單元，用于利用超聲換能原理，在處于發射狀態時，向待檢測表面發出超聲波，使超聲波在同一時間到達器件表面的預定聚焦點，以及在處于接收狀態時，用于獲得所述超聲波到達所述待檢測表面后反饋的反饋信號；

掃描轉換單元，用于使各個所述超聲換能檢測單元對待檢測表面以角度變化或在預定深度范圍進行電子掃描；

處理單元，用于根據各超聲換能檢測單元對待檢測表面以角度變化或在預定深度范圍進行電子掃描所獲得的反饋信號進行累加，根據所述反饋信號計算所述待檢測表面的位置，以及用于根據掃描后獲得的反饋數據，計算所述待檢測表面的表面輪廓；

其中所述處理單元通過計算所述反饋信號的接收時間與所述超聲波發出時間的時間差，計算所述待檢測表面的位置，且用于計算所述時間差的反饋信號為所接收反饋信號中幅值最大的信號；

其中，當所述掃描轉換單元用于對待檢測表面在預定深度范圍進行電子掃描時，采用步進電機進行定速掃描，使所述超聲換能檢測單元對待檢測表面進行檢測時的預定聚焦點從所述待檢測表面定速向內部推移，間隔預定距離移動，直至使預定聚焦點位置移動至所述器件的底面；所述處理單元根據所述定速掃描，在每一移動位置進行檢測，獲得多張檢測掃描圖像，解釋該多張掃描圖像，生成干涉波形，根據干涉波形圖像中兩點間生成干涉波形時的距離和預定聚焦點定速移動的距離，計算出待檢測表面的總高度。

2.如權利要求1所述的表面檢測裝置，其特征在于，所述超聲換能檢測單元包括：第一電極、第二電極、設置于所述第一電極和所述第二電極之間的壓電層、位于所述第二電極相對所述壓電層另一側的彈性層和在所述彈性層與所述第二電極之間依次設置的二氧化硅層和粘接層。

3.如權利要求1所述的表面檢測裝置，其特征在于，所述超聲換能檢測單元包括相互獨立的聲波發射單元與聲波接收單元。

4.如權利要求1所述的表面檢測裝置，其特征在于，所述待檢測表面為顯示面板的隔墊物表面。

5.如權利要求4所述的表面檢測裝置，其特征在于，所述超聲換能檢測單元與所述待檢測表面之間設置有隔離體。

6.如權利要求5所述的表面檢測裝置，其特征在于，所述隔離體為液體或者膠體。

7.如權利要求1所述的表面檢測裝置，其特征在于，所述待檢測表面為液晶滴注過程中液晶瓶內剩余液晶的表面。