[發明專利]一種兩段式化學氣相沉積納米金剛砂設備在審
| 申請號： | 201310718591.1 | 申請日： | 2013-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN104711540A | 公開（公告）日： | 2015-06-17 |
| 發明（設計）人： | 陳照峰;汪洋 | 申請（專利權）人： | 南京沙殼新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/32 | 分類號： | C23C16/32 |
| 代理公司： | 無 | 代理人： | 無 |
| 地址： | 211200 江蘇省南京*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 段式 化學 沉積 納米 金剛砂 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種兩段式化學氣相沉積納米金剛砂設備，其特征在于包括上下兩段，上段為高溫熱解爐，下段為中溫熱解爐。
2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述的高溫熱解爐和中溫熱解爐相互貫通，其中中溫熱解爐爐膛內徑與高溫熱解爐爐膛內徑比為1～3。
3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述的高溫熱解爐采用感應加熱方式，溫度的范圍為1600～2500℃。
4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述的中溫熱解爐采用電阻加熱方式，溫度的范圍為800～1600℃。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
