[發明專利]陣列基板及其制造方法和觸摸顯示裝置

有效

• 申請號: 201310718479.8
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN103713792A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 魏向東;郝學光;李成;安星俊;柳奉烈
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

技術領域

本發明涉及顯示技術，具體地，涉及一種陣列基板及其制造方法和一種包括所述陣列基板的觸摸顯示裝置。

背景技術

觸摸屏按照結構可以分為：外掛式觸摸屏（Add?on?Mode?Touch?Panel），覆蓋表面式觸摸屏（On?Cell?Touch?Panel），以及內嵌式觸摸屏（In?Cell?Touch?Panel）。其中，內嵌式觸摸屏是將觸摸屏的觸控電極設置在液晶顯示屏的內部，可以減薄模組整體的厚度，又可以大大降低觸摸屏的制作成本。觸摸屏按照工作原理可以分為：電阻式觸摸屏和電容式觸摸屏等。其中，電容式觸摸屏支持多點觸控功能，擁有較高的透光率和較低的整體功耗，其接觸面硬度高，使用壽命較長。

目前，現有的電容式內嵌觸摸屏是通過在現有的陣列基板上直接另外增加觸控掃描線和觸控感應線實現的，即在陣列基板的表面制作兩層相互異面相交的條狀電極，這兩層電極分別作為觸摸屏的觸控驅動線和觸控感應線，在兩條電極的異面相交處形成互電容。其工作過程為：在對作為觸控驅動線的電極加載觸控驅動信號時，檢測觸控感應線通過互電容耦合出的電壓信號，在此過程中，當有人體接觸觸摸屏時，人體電場就會作用在互電容上，使互電容的電容值發生變化，進而改變觸控感應線耦合出的電壓信號，根據電壓信號的變化，就可以確定觸點位置。

在上述電容式內嵌觸摸屏的結構設計中，由于需要在現有的陣列基板上新增觸控掃描線和觸控感應線，這樣會增多制作工藝中的掩模次數，增大觸摸屏的厚度，從而增加生產成本；并且，新增的觸控掃描線上加載的觸控驅動信號會與陣列基板中原有的顯示信號之間相互干擾，影響顯示畫面的品質和觸控的精準度。

因此，如何減少制作工藝中的掩模次數，減小觸摸屏的厚度，并避免觸控驅動信號與顯示信號之間相互干擾，是本領域技術人員需要解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種陣列基板及其制造方法和一種包括所述陣列基板的觸摸顯示裝置，所述陣列基板具有簡單的結構，從而使得所述觸摸屏具有較小的厚度。

為了實現上述目的，作為本發明的一個方面，提供一種陣列基板，該陣列基板包括多條數據線、多條柵線和多個薄膜晶體管，多條所述數據線和多條所述柵線互相交錯，以將所述陣列基板劃分為多個像素單元，每個所述像素單元內都設置有所述薄膜晶體管，其中，所述陣列基板還包括多條第一觸摸感測電極和多條第二觸摸感測電極，所述第一觸摸感測電極設置在所述薄膜晶體管的溝道的下方，且所述第一觸摸感測電極同時作為阻擋背光源發出的光線的屏蔽金屬層，所述第一觸摸感測電極與所述第二觸摸感測電極互相交錯，且所述第一觸摸感測電極與所述第二觸摸感測電極的相交處形成電容。

優選地，相鄰兩條所述柵線之間設置有公共柵線以接收公共信號，所述公共柵線至少部分與所述薄膜晶體管的漏極和所述第一觸摸感測電極相對應，以使得所述公共柵線與所述薄膜晶體管的漏極之間形成第一存儲電容，且所述公共柵線與所述第一觸摸感測電極之間形成第二存儲電容。

優選地，形成所述薄膜晶體管的有源層的材料包括低溫多晶硅，所述陣列基板還包括緩沖層，所述薄膜晶體管的有源層設置在所述緩沖層的上表面，所述第一觸摸感測電極設置在所述緩沖層的下表面，所述第二觸摸感測電極設置在所述緩沖層的上方。

優選地，相鄰兩條所述第一觸摸感測電極之間設置有第一浮空電極。

優選地，所述第二觸摸感測電極同時作為所述陣列基板的公共電極。

優選地，相鄰兩條所述第二觸摸感測電極之間設置有第二浮空電極。

優選地，在每個所述像素單元內，所述薄膜晶體管的有源層通過第一過孔與對應的所述第一觸摸感測電極相連。

優選地，所述陣列基板包括柵絕緣層、中間絕緣層、平坦化層和鈍化層，所述柵絕緣層覆蓋所述薄膜晶體管的有源層，所述柵線和所述公共柵線設置在所述柵絕緣層的上表面，所述中間絕緣層覆蓋所述柵線和所述公共柵線，所述薄膜晶體管的源極和漏極設置在所述中間絕緣層的上表面，所述平坦化層覆蓋所述薄膜晶體管的源極和漏極，所述第二觸摸感測電極設置在所述平坦化層的上方，所述鈍化層覆蓋所述公共電極，所述陣列基板的像素電極設置在所述鈍化層的上表面，所述薄膜晶體管的源極和漏極均通過貫穿所述中間絕緣層和所述柵絕緣層的第二過孔與所述薄膜晶體管的有源層相連，所述像素電極通過貫穿所述鈍化層和所述平坦化層的第三過孔與所述薄膜晶體管的漏極連接。

優選地，所述第一觸摸感測電極為觸控感應電極，所述第二觸摸感測電極為觸控驅動電極。