[發明專利]一種水晶燈掛件玻璃的制作方法

有效

• 申請號: 201310717313.4
• 申請日: 2013-12-21
• 公開（公告）號: CN103741102A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 魏佳坤
• 申請（專利權）人: 揭陽市宏光鍍膜玻璃有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C03C17/34
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙) 44286
• 代理人: 吳劍鋒

1.一種水晶燈掛件玻璃的制作方法，其特征在于包括以下步驟：

A、將已成型的水晶燈掛件清洗后，放入磁控濺射托盤，然后送入鍍膜機；

B、采用氧氣作為反應氣體，氬氣作為保護氣體，直流電源濺射不銹鋼平面靶，在水晶掛件上磁控濺射一SSTOx層；

C、采用氮氣作為反應氣體，直流電源濺射鉻平面靶，在SSTOx層上磁控濺射一氮化鉻薄膜層；

D、采用氧氣作為反應氣體，交流電源濺射鋅錫靶，在氮化鉻薄膜層上磁控濺射一氧化鋅錫層；

E、采用氧氣作為反應氣體，交流電源濺射鈦靶，在氧化鋅錫層上磁控濺射一氧化鈦層。

2.根據權利要求1所述的一種水晶燈掛件玻璃的制作方法，其特征在于步驟A中水晶燈掛件的清洗具體包括：將成型的水晶燈掛件放在丙酮中超聲清洗10分鐘后，再用乙醇超聲清洗10分鐘，最后在去離子水中超聲清洗10分鐘。

3.根據權利要求1所述的一種水晶燈掛件玻璃的制作方法，其特征在于步驟B中所述SSTO_x層的厚度為30～45nm，氬氣與氧氣的體積比為1：2，濺射功率為75～115KW，分兩個陰極濺射。

4.根據權利要求1所述的一種水晶燈掛件玻璃的制作方法，其特征在于步驟C中氮化鉻薄膜層的厚度為3～5nm，氬氣與氮氣的體積比為1:2，直流電源濺射功率3～6KW。

5.根據權利要求1所述的一種水晶燈掛件玻璃的制作方法，其特征在于步驟D中氧化鋅錫層的厚度為10～20nm，ZnSn合金旋轉靶中Zn與Sn的摩爾比為48:52，氬氣與氧氣的體積比為1:2，所述交流電源的濺射功率為30～45KW。

6.根據權利要求1所述的一種水晶燈掛件玻璃的制作方法，其特征在于步驟E氧化鈦層的厚度為10～20nm，氬氣與氧氣的體積比為1:2，所述交流電源的濺射功率為30～45KW。