[發明專利]一種多晶硅片酸性制絨液的添加劑及其應用

有效

• 申請號: 201310717249.X
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN103710705A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 李春賢
• 申請（專利權）人: 北京合德豐材料科技有限公司
• 主分類號: C23F1/24
• 分類號: C23F1/24;C30B33/10;B28D5/04
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，包括如下組分：季戊四醇，無水醋酸鈉、聚乙二醇和去離子水；

其中，所述季戊四醇的重量百分含量為0.5～2%，所述無水醋酸鈉的重量百分比為0.5～2%，所述聚乙二醇的重量百分含量為0.5～2%，所述去離子水的重量百分含量為94～98.5%。

2.根據權利要求1所述的多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述聚乙二醇的分子量為200～5000。

3.根據權利要求2所述的多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述聚乙二醇為分子量200的聚乙二醇、分子量300的聚乙二醇、分子量400的聚乙二醇、分子量600的聚乙二醇、分子量1000的聚乙二醇、分子量1500的聚乙二醇、分子量2000的聚乙二醇、分子量4000的聚乙二醇或分子量5000的聚乙二醇中的任意一種。

4.根據權利要求2所述的多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述聚乙二醇的分子量為400～1000。

5.根據權利要求4所述的多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述聚乙二醇為分子量400的聚乙二醇、分子量600的聚乙二醇或分子量1000的聚乙二醇中的任意一種。

6.一種應用權利要求1至5任一項所述的添加劑進行酸制絨的方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）將季戊四醇，無水醋酸鈉和聚乙二醇溶解于去離子水中，制得添加劑，其中，

所述所述季戊四醇的重量百分含量為0.5～2%，所述無水醋酸鈉的重量百分比為0.5～2%，所述聚乙二醇的重量百分含量為0.5～2%，所述去離子水的重量百分含量為94～98.5%；

2）將氫氟酸和硝酸溶于去離子水中制得酸混合溶液，然后將步驟1）中制得的添加劑加入到所述酸混合溶液中，得到酸性制絨液，其中，

所述氫氟酸的重量百分含量為5～10%，所述硝酸的重量百分含量為35～50%，添加劑的重量百分含量為0.2～1%，所述去離子水的重量百分含量為39～59.8%；

3）將砂漿切割多晶硅片或金剛線切割多晶硅片浸入到步驟2）中制得的酸性制絨液中進行制絨，即可。

7.根據權利要求6所述的酸制絨的方法，其特征在于，在步驟3）中，所述進行制絨的工藝條件如下：制絨過程的制絨溫度為5～25℃，制絨時間為60～200秒。

8.根據權利要求7所述的酸制絨的方法，其特征在于，所述制絨過程的制絨溫度為5～10℃，制絨時間為100～150秒。

9.一種權利要求1至5任一項所述的多晶硅片酸性制絨液的添加劑的應用，其特征在于，所述添加劑可同時應用于砂漿切割以及金剛線切割。