[發明專利]CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法

在審

• 申請號: 201310714980.7
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN104716228A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 趙岳;王赫;張超;鄧朝文;張翰明;趙彥民;喬在祥
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十八研究所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 李鳳

1.CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法，包括帶有加熱絲的爐體，其特征在于：還包括以下制備步驟：

⑴在爐體外置一層保護加熱絲單元后，放入內部靠近下端置有屏蔽結構的殼體支架中；所述保護加熱絲單元為套在爐體外壁的頂部殼體和底部殼體，頂部殼體和底部殼體的內壁上均制有放置加熱絲用的螺旋狀凹槽，其中頂部殼體上端部與外圓之間有一臺階圓；所述屏蔽結構為用垂直于水平面的三個圓柱體作為屏蔽層支撐柱，在三個屏蔽層支撐柱上套入相互平行并與屏蔽層支撐柱垂直的多層鉬片作為屏蔽層；

⑵在殼體支架的底部固定一個底盤，步驟⑴屏蔽結構中的屏蔽層支撐柱定位在底盤的上面，底盤的下面通過支撐桿固定在電控器上；

⑶用石墨制作蒸發源頂部遮蓋片和密封卡環；蒸發源頂部遮蓋片制成內徑為臺階狀的環形圈，密封卡環為內徑與蒸發源頂部遮蓋片外徑尺寸相同的圓形圈；密封卡環套在步驟⑴保護加熱絲單元中的殼體支架上面的頂部殼體外壁，所述蒸發源頂部遮蓋片的大圓壁卡在爐體的外沿和密封卡環之間頂部殼體的上面。

2.根據權利要求1所述的CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法，其特征在于：所述爐體為頂端帶有外沿的氮化硼圓桶狀坩堝。

3.根據權利要求1所述的CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法，其特征在于：所述爐體內上端部緊配合置有高純石墨噴嘴。

4.根據權利要求1所述的CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法，其特征在于：所述爐體外側的底部及頂部均固裝有熱偶。

5.根據權利要求1所述的CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法，其特征在于：所述底盤面上還有與殼體支架固定用的固定通孔、作為加熱線和熱偶線走線用加熱線走線孔和熱偶線走線孔。

6.根據權利要求1所述的CIGS太陽電池用高溫耐蝕蒸發束流源裝置制備方法，其特征在于：所述殼體支架為304不銹鋼材料。