[發明專利]感光性樹脂組合物和由其制成的絕緣層

有效

• 申請號: 201310714506.4
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN103885293B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 崔和燮;樸漢雨;任玟柱
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種正型感光性樹脂組合物，其包含粘結劑樹脂、光酸產生劑和溶劑，所述粘結劑樹脂具有由源自于式1表示的單體的式(e)表示的重復單元：

[式1]

[式(e)]

其中R₁是氫原子或甲基；R₂是具有1-6個碳原子的亞烷基；R₃和R₄各自獨立地是氫原子；和m是1-6的整數。

2.根據權利要求1所述的組合物，其中所述粘結劑樹脂通過進一步包含由式2至5表示的單體中的至少一種聚合而成：

[式2]

其中R是被具有1-6個碳原子的烷基取代或未取代的具有1-6個碳原子的烷基；四氫吡喃基；或被具有1-6個碳原子的烷氧基或具有4-8個碳原子的環烷氧基取代或未取代的具有1-6個碳原子的烷基；

[式3]

其中R₁是氫原子或甲基，R₂是具有1-6個碳原子的烷基或具有4-8個碳原子的環烷基；

[式4]

其中R₁是氫原子或甲基，R₂是具有3-8個碳原子的亞烷基，R₃是具有1-6個碳原子的烷基或具有4-8個碳原子的環烷基；

[式5]

其中R₁是氫原子或甲基，R₂是具有1-6個碳原子的亞烷基或具有4-8個碳原子的亞環烷基，R₃是具有1-6個碳原子的烷基或具有4-8個碳原子的環烷基。

3.根據權利要求1所述的組合物，其中所述粘結劑樹脂通過包含5-60mol％的由式1表示的單體聚合而成。

4.根據權利要求1所述的組合物，其中所述粘結劑樹脂的重均分子量為5,000至30,000。

5.根據權利要求1所述的組合物，其中相對于所述組合物的總重量，包括5-60wt％的所述粘結劑樹脂。

6.根據權利要求1所述的組合物，其進一步包含光敏劑。

7.根據權利要求1所述的組合物，其中所述光酸產生劑是選自由重氮鹽、鏻鹽、锍鹽、碘鎓鹽、亞氨磺酸酯、肟磺酸酯、重氮二砜、二砜、鄰硝基芐基磺酸酯和三嗪化合物組成的組中的至少一種。

8.根據權利要求1所述的組合物，其中相對于100重量份所述粘結劑樹脂，包括0.1-20重量份的所述光酸產生劑。

9.根據權利要求6所述的組合物，其中所述光敏劑是選自由多核芳香系化合物、呫噸系化合物、呫噸酮系化合物、花青系化合物、氧雜菁系化合物、噻嗪系化合物、吖啶系化合物、吖啶酮系化合物、蒽醌系化合物、方酸鎓系化合物、苯乙烯基化合物、堿性苯乙烯基化合物、香豆素系化合物和蒽系化合物組成的組中的至少一種。

10.根據權利要求6所述的組合物，其中相對于100重量份所述粘結劑樹脂，包括0.01-60重量份的所述光敏劑。

11.根據權利要求1所述的組合物，其中所述溶劑是選自由醚、酯、酮和酰胺組成的組中的至少一種。

12.根據權利要求11所述的組合物，其中所述酯為乙酸酯。

13.根據權利要求11所述的組合物，其中所述酯為內酯。

14.根據權利要求1所述的組合物，其中所述溶劑是丙二醇甲基醚乙酸酯、二甘醇甲基乙基酯或它們的混合物。

15.根據權利要求1所述的組合物，其中相對于所述組合物的總重量，包括40-90wt％的所述溶劑。