[發明專利]一種微空心陰極等離子體處理裝置有效
| 申請號： | 201310713637.0 | 申請日： | 2013-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN103730320A | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發明（設計）人： | 王紅衛;沈文凱 | 申請（專利權）人： | 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏偉 |
| 地址： | 215011 江蘇省蘇州市蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空心 陰極 等離子體 處理 裝置 | ||
1.?一種微空心陰極等離子體處理裝置，包括電極組件、絕緣板和高頻電源，所述電極組件包括相互平行設置的第一平板電極和第二平板電極，所述絕緣板設置于所述第一平板電極和所述第二平板電極之間，所述第一平板電極與所述高頻電源的負極電連接，所述第二平板電極與所述高頻電源的正極電連接，其特征在于，所述第一平板電極、第二平板電極和絕緣板上分別貫穿設置有氣孔，所述上部氣孔直徑尺寸小于所述下部氣孔直徑尺寸。
2.?根據權利要求1所述的微空心陰極等離子體處理裝置，其特征在于，所述第一平板電極的厚度尺寸大于所述第二平板電極的厚度尺寸。
3.?根據權利要求1所述的微空心陰極等離子體處理裝置，其特征在于，所述第一平板電極上開設有至少一個第一氣孔，所述第二平板電極上開設有至少一個第二氣孔，所述絕緣板上開設有至少一個絕緣氣孔，所述第一氣孔、第二氣孔和絕緣氣孔的軸心在同一直線上。
4.?根據權利要求3所述的微空心陰極等離子體處理裝置，其特征在于，所述第二氣孔的直徑尺寸與所述絕緣氣孔的直徑尺寸相同，所述第一氣孔的直徑尺寸小于所述第二氣孔和所述絕緣氣孔的直徑尺寸。
5.?根據權利要求3所述的微空心陰極等離子體處理裝置，其特征在于，所述第一氣孔的上部直徑尺寸小于所述第一氣孔的下部直徑尺寸，所述第一氣孔的下部直徑尺寸、所述第二氣孔的直徑尺寸與所述絕緣氣孔的直徑尺寸相同。
6.?根據權利要求1-5任一所述的微空心陰極等離子體處理裝置，其特征在于，還包括用于放置材料的物料架，所述物料架設置于所述第二平板電極下方。
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