[發明專利]一種藍寶石圖形化襯底自動檢測設備

在審

• 申請號: 201310710536.8
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN103728312A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 丁奎
• 申請（專利權）人: 徐州萬邦道路工程裝備服務股份公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 劉新合

技術領域

本發明涉及一種藍寶石圖形化襯底自動檢測設備。

背景技術

藍寶石圖形化襯底是一種制造LED發光體的上游工藝，使用蝕刻技術在晶圓的表面制造2.5um左右直徑大小的正圓錐體。由于各種塵埃在車間內無法避免，因此在制造流水線的終檢工序中，必須要對成品進行全數檢驗。當前大多數企業使用人工通過顯微鏡檢驗晶圓。一般需要行掃描12至13次才能檢驗完整晶圓區域，速度慢，檢驗結果不穩定。

藍寶石圖形化襯底的特點是微觀椎體圖形完全一致，如何利用這一特點進行自動化測試，提高工作效率成為一個急需解決的問題。

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發明內容

針對上述現有技術存在的問題，本發明提供一種藍寶石圖形化襯底自動檢測設備，能夠快速的得到測試結果，提高工作效率。

為了實現上述目的，本發明的技術方案是：一種藍寶石圖形化襯底自動檢測設備，包括計算機系統與載物臺，還包括攝像頭和屏幕。

本發明的從俯視方向遍歷晶圓缺陷，通過計算機系統快速比對，并反饋到屏幕上。從而減輕了人工檢驗的壓力，提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本發明的藍寶石圖形化襯底自動檢測設備示意圖。

圖中：1、計算機系統?2、屏幕?3、載物臺?4、攝像頭

具體實施方式

如圖1所示，計算機系統1固定在載物臺3上方，屏幕2通過數據線與計算機系統1連接，同時被固定在載物臺側方。攝像頭通過數據線連接到計算機系統。計算機系統1在使用前需要輸入椎體的直徑和晶圓周邊無效區域距離圓邊的距離。在進行圖像處理過程中或者在圖像采集過程，避開無效區域。

經過與正常圖形的比對，系統1把缺陷區域的圖像反映到屏幕2上。由人工進行確認，并進行記錄保存。