[發明專利]一種清洗裝置和清洗方法

有效

• 申請號: 201310710172.3
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN103691714A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 井楊坤
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B3/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種用于去除待清洗物體表面的異物的清洗裝置，其特征在于，包括：

使清洗液產生自由基的自由基產生器；

與所述自由基產生器連通、接收從所述自由基產生器輸出的含有自由基的清洗液的暫存箱，所述暫存箱具有將含有自由基的清洗液噴射到待清洗物體表面的至少一個噴頭；

相對設置且形成覆蓋所述待清洗物體表面的電場的陽極和陰極，含有自由基的清洗液噴射到所述待清洗物體的表面后，清洗液中的自由基在所述陽極和陰極形成的電場作用下運動并與所述待清洗物體表面的異物發生化學反應，使所述待清洗物體表面的異物脫離待清洗物體表面。

2.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述陽極和所述陰極分別為平板狀電極。

3.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述陽極為圓筒狀電極，所述陰極為圓柱狀電極，或，所述陰極為圓筒狀電極，所述陽極為圓柱狀電極。

4.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，還包括：用于回收從各個所述噴頭噴出的清洗液的清洗槽，所述清洗槽中設置有用于支撐待清洗物體的支撐件。

5.如權利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽為矩形槽，所述陽極和所述陰極分別為平板狀電極；所述陽極和所述陰極分別設置于所述矩形槽的相對的兩個側壁上。

6.如權利要求4或5所述的清洗裝置，其特征在于，還包括：位于所述暫存箱旁、用于增加所述暫存箱內的自由基的活性的超聲波發生器，以及與所述超聲波發生器信號連接、以控制所述超聲波發生器的頻率的控制器。

7.如權利要求6所述的清洗裝置，其特征在于，

所述清洗槽位于所述暫存箱的下方，放置于所述支撐件上的待清洗物體與各個所述噴頭相對；

所述超聲波發生器位于所述暫存箱的上方，所述超聲波發生器在增加所述暫存箱內自由基活性的同時，也使所述清洗槽中的清洗液產生振動以沖擊待清洗物體表面的異物。

8.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，還包括：與所述自由基發生器連通的氣液混合泵，通過輸液管路與所述氣液混合泵連通的液體加壓罐，通過輸氣管路與所述氣液混合泵連通的氣體加壓罐，以及設置于所述輸液管路上的液體控制閥，設置于所述輸氣管路上的氣體控制閥；清洗液所需的液體和氣體分別進入所述液體加壓罐中和所述氣體加壓罐中加壓，并通過對應的所述輸液管路和所述輸氣管路輸出至所述氣液混合泵中混合形成所需的清洗液。

9.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體控制閥和所述氣體控制閥分別與所述控制器信號連接，所述控制器通過控制所述液體控制閥的開度和所述氣體控制閥的開度來控制所述清洗液中的氣液比率。

10.一種用于去除待清洗物體表面的異物的清洗方法，其特征在于，包括：

將待清洗物體放置于所述陽極和所述陰極形成的電場內，并與所述至少一個噴頭相對；

清洗液經過所述自由基產生器后輸出給所述暫存箱含有自由基的清洗液，含有自由基的清洗液從各個所述噴頭噴淋到待清洗物體表面；

清洗液中的自由基在所述陽極和陰極形成的電場作用下運動并與所述待清洗物體表面的異物發生化學反應，使所述待清洗物體表面的異物脫離待清洗物體表面。