[發(fā)明專利]基板固定裝置、基板作業(yè)裝置以及基板固定方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310705898.8
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN103974542B
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岸本洋平
• 申請（專利權(quán)）人: 雅馬哈發(fā)動機(jī)株式會社
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11219
• 代理人: 穆德駿,謝麗娜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在作業(yè)位置由背撐部件支撐固定膜狀的基板的基板固定技術(shù)以及利用該基板固定技術(shù)對固定于作業(yè)位置的基板進(jìn)行元件安裝、檢查、涂敷液涂敷、膏印刷等基板作業(yè)的基板作業(yè)裝置。

背景技術(shù)

柔性基板等膜狀的基板（以下簡稱為“基板”）比較薄、容易發(fā)生翹曲變形。因此，提出了多個在對基板進(jìn)行元件安裝等作業(yè)的位置即作業(yè)位置上矯正基板的翹曲的技術(shù)。例如，在日本特開2004－296632號公報(bào)所記載的發(fā)明中，在托承部件的托承面上載置有基板后，按壓部件下降，從上方以面狀壓入該基板而使其壓靠于托承面上。由此，矯正基板的翹曲變形。并且，在該狀態(tài)下真空吸引單元工作，從而將基板真空吸附固定于托承面上。

但是，日本特開2004－296632號公報(bào)所記載的發(fā)明是在基板的元件搭載部位上安裝元件的裝置，目的在于防止該元件搭載部位上的基板的翹曲。即，按壓部件具有全面地覆蓋基板的元件搭載部位的范圍的大小的按壓面，僅壓入基板表面中的元件搭載部位而進(jìn)行翹曲矯正，并且由與真空吸引單元連接的吸附槽吸附基板。之后，使按壓部件從基板退避而進(jìn)行元件安裝。因此，即使向基板表面按壓基板按壓部件而矯正了翹曲，當(dāng)使基板按壓部件從基板表面退避時(shí)，在基板的外周部發(fā)生翹曲，而且由于該翹曲而使基板周邊附近的吸引力降低，使翹曲進(jìn)一步擴(kuò)大。即，對于元件搭載部位的周邊區(qū)域即基板的外周部處的翹曲完全沒有考慮。

因此，在基準(zhǔn)標(biāo)記位于構(gòu)成從下表面進(jìn)行抵接的吸附槽的外側(cè)的基板周邊部分的基板上表面的情況下，由于該部分的翹曲而有時(shí)無法進(jìn)行準(zhǔn)確的識別，無法準(zhǔn)確地檢測基板位置、基板的方向，在安裝機(jī)中無法在準(zhǔn)確的位置上進(jìn)行元件搭載。另外，在將日本特開2004－296632號公報(bào)所記載的基板固定裝置搭載于印刷機(jī)、基板檢查機(jī)的情況下，可認(rèn)為在印刷機(jī)中無法在準(zhǔn)確的位置進(jìn)行印刷，在基板檢查機(jī)中無法進(jìn)行準(zhǔn)確的基板檢查。特別是，在將一對輸送機(jī)等搬運(yùn)部件沿基板的寬度方向分離配置而對基板的寬度方向的下表面端部分別進(jìn)行支撐并向作業(yè)位置搬運(yùn)的基板作業(yè)裝置中，基板的外周部處的翹曲變形存在變大的傾向，在識別基準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)對此進(jìn)行矯正成為較大的技術(shù)課題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述課題而作出，其目的在于提供如下一種技術(shù)以及利用該技術(shù)進(jìn)行基板作業(yè)的基板作業(yè)裝置：對由一對搬運(yùn)部件從下方進(jìn)行支撐并沿搬運(yùn)路徑進(jìn)行搬運(yùn)的膜狀的基板，在作業(yè)位置處進(jìn)行支撐并吸引固定時(shí)，可良好地矯正基板的外周部的翹曲。

本發(fā)明所涉及的基板固定裝置中，對由彼此分離配置的一對搬運(yùn)部件從下方支撐并沿搬運(yùn)路徑進(jìn)行搬運(yùn)的膜狀的基板，在搬運(yùn)路徑的途中的作業(yè)位置進(jìn)行支撐并固定，該基板固定裝置的特征在于，具備：背撐部件，從上方俯視觀察時(shí)，位于一對搬運(yùn)部件之間，并且位于被搬運(yùn)到所述作業(yè)位置的基板的下方；基板按壓部件，位于被搬運(yùn)到作業(yè)位置的基板的外周部表面的上方；以及升降驅(qū)動部，使背撐部件以及基板按壓部件中的至少一方升降，升降驅(qū)動部使背撐部件上升及/或使基板按壓部件與一對搬運(yùn)部件一起下降，從而由背撐部件從下方支撐基板并使基板從一對搬運(yùn)部件向上方離開，并且由基板按壓部件向下方按壓基板的外周部表面而矯正基板的外周部的翹曲。

另外，本發(fā)明所涉及的基板作業(yè)裝置的特征在于，具備：基板搬運(yùn)部，由彼此分離配置的一對搬運(yùn)部件從下方支撐并沿搬運(yùn)路徑搬運(yùn)膜狀的基板；基板固定部，具有與上述基板固定裝置相同的結(jié)構(gòu)，對由基板搬運(yùn)部搬運(yùn)到搬運(yùn)路徑的途中的作業(yè)位置的基板進(jìn)行支撐固定；以及基板作業(yè)部，對由基板固定部固定的基板的表面中的、除由基板按壓部件按壓的區(qū)域以外的表面區(qū)域?qū)嵤┮?guī)定的作業(yè)。

而且，本發(fā)明所涉及的基板固定方法中，對由彼此分離配置的一對搬運(yùn)部件從下方支撐并沿搬運(yùn)路徑搬運(yùn)的膜狀的基板，在搬運(yùn)路徑的途中的作業(yè)位置進(jìn)行支撐并固定，該基板固定方法的特征在于，具備如下工序：支撐工序，代替一對搬運(yùn)部件，在基板從上述一對搬運(yùn)部件向上方離開的狀態(tài)下，由在作業(yè)位置處從上方俯視觀察時(shí)位于一對搬運(yùn)部件之間的背撐部件從下方支撐被搬運(yùn)到作業(yè)位置的基板；以及矯正工序，由基板按壓部件向下方按壓由背撐部件支撐的基板的外周部表面而矯正基板的外周部的翹曲。

附圖說明

圖1是表示具備作為本發(fā)明的基板固定裝置的第一實(shí)施方式的基板固定部的基板作業(yè)裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖2是表示基板作業(yè)裝置中的基板搬運(yùn)部和基板固定部的結(jié)構(gòu)的局部立體圖。

圖3A、圖3B以及圖3C是示意性地表示基板固定部的動作的圖。