[發(fā)明專利]關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整系統(tǒng)及調(diào)整方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310701218.5
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN103697812A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李向峰;金基用;周子卿;贠向南;許朝欽;侯本光;劉會雙
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張?zhí)焓?/td>

1.一種關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、獲取初始光量強(qiáng)度范圍內(nèi)的若干點(diǎn)，并設(shè)置為基準(zhǔn)光量點(diǎn)，并設(shè)置各基準(zhǔn)光量點(diǎn)的光量強(qiáng)度管控范圍；

S2、執(zhí)行經(jīng)驗補(bǔ)正量，獲得各基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度，判斷各基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度是否全部符合基準(zhǔn)光量點(diǎn)光量強(qiáng)度的管控范圍，若是，則結(jié)束光量強(qiáng)度調(diào)整，若否，則執(zhí)行下述步驟；

S3、根據(jù)各基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后與補(bǔ)正前的光量強(qiáng)度計算當(dāng)前補(bǔ)正量；

S4、執(zhí)行當(dāng)前補(bǔ)正量，獲得各基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度，判斷各基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度是否符合上述的基準(zhǔn)光量點(diǎn)光量強(qiáng)度的管控范圍；若是，則結(jié)束光量強(qiáng)度調(diào)整；若否，則判斷補(bǔ)正次數(shù)是否達(dá)到預(yù)定值，若未達(dá)到，則執(zhí)行步驟S3，若達(dá)到，則報警。

2.如權(quán)利要求1所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述包括步驟S3包括：

計算各基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后與補(bǔ)正前光量強(qiáng)度的差的絕對值的平均值，以該平均值為當(dāng)前補(bǔ)正量。

3.如權(quán)利要求1所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述步驟S4中的執(zhí)行當(dāng)前補(bǔ)正量之前還包括確定補(bǔ)正方向的步驟：根據(jù)基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度與補(bǔ)正前光量強(qiáng)度的差值來確定的補(bǔ)正方向，若基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度大于補(bǔ)正前光量強(qiáng)度，則向降低光量強(qiáng)度的方向進(jìn)行補(bǔ)正，若基準(zhǔn)光量點(diǎn)補(bǔ)正后的光量強(qiáng)度小于補(bǔ)正前光量強(qiáng)度，則向增加光量強(qiáng)度的方向進(jìn)行補(bǔ)正。

4.如權(quán)利要求1所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述的基準(zhǔn)光量點(diǎn)的光量強(qiáng)度包括落射光模式和/或透射光模式下的光量強(qiáng)度。

5.如權(quán)利要求1所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述的基準(zhǔn)光量點(diǎn)分別為初始光量強(qiáng)度范圍內(nèi)的若干個均分點(diǎn)。

6.如權(quán)利要求1所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述的設(shè)定值為2-5范圍內(nèi)的任一整數(shù)值。

7.如權(quán)利要求6所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述的設(shè)定值為2。

8.如權(quán)利要求1所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述的基準(zhǔn)光量點(diǎn)為3-9個。

9.如權(quán)利要求8所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整方法，其特征在于，所述的基準(zhǔn)光量點(diǎn)為9個。

10.一種關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，所述的光量強(qiáng)度調(diào)整系統(tǒng)包括：

光量強(qiáng)度測量單元，用于將光量強(qiáng)度的光學(xué)信號轉(zhuǎn)換為模擬電流信號；

模數(shù)轉(zhuǎn)換單元，用于將光量強(qiáng)度測量單元的模擬電流信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字電流信號；

存儲單元，用于存儲各基準(zhǔn)光量點(diǎn)光量強(qiáng)度及其光量強(qiáng)度管控范圍，以及經(jīng)驗補(bǔ)正量；

光量強(qiáng)度比較單元，用于判斷各基準(zhǔn)光量點(diǎn)當(dāng)前的光量強(qiáng)度是否符合基準(zhǔn)光量點(diǎn)光量強(qiáng)度的管控范圍，若是則結(jié)束光量強(qiáng)度調(diào)整，若否則通知光量強(qiáng)度調(diào)整單元進(jìn)行補(bǔ)正；

光量強(qiáng)度調(diào)整單元，用于根據(jù)補(bǔ)正量調(diào)整光量強(qiáng)度；

當(dāng)前補(bǔ)正量計算單元，用于根據(jù)各基準(zhǔn)光量點(diǎn)當(dāng)前的光量強(qiáng)度與補(bǔ)正前的光量強(qiáng)度確定當(dāng)前補(bǔ)正量；

報警單元，用于判斷補(bǔ)正次數(shù)是否達(dá)到預(yù)定值，并在補(bǔ)正次數(shù)達(dá)到預(yù)定值時報警。

11.如權(quán)利要求10所述的關(guān)鍵尺寸測量裝置的光量強(qiáng)度調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，所述的光量強(qiáng)度測量單元為電荷耦合式攝像頭。