[發明專利]薄膜應力測試方法

有效

• 申請號: 201310700453.0
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN103630277A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 趙升升;程毓
• 申請（專利權）人: 深圳職業技術學院
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217
• 代理人: 王小青

1.一種薄膜應力測試方法，其特征在于，通過以下步驟分別測量鍍膜前、后的基片的曲率半徑：

1）、將基片放置在樣品臺上；

2）、使激光器產生的入射激光束，穿過半透鏡到達所述基片，經基片反射回半透鏡，再由半透鏡反射至激光探測儀；

3）、驅動所述樣品臺運動，并采集數據，記錄運動的距離、以及所述激光探測儀表面的激光光斑的對應移動距離；

4）對于鍍膜前表面平直的基片，通過以下計算式計算薄膜應力：

σ=-Es·hs26(1-vs)·hf(1R-1R0)=-Es·hs212(1-vs)·hf·(H-hs)[(∂D∂l)-(∂D0∂l)];]]>

對于鍍膜前表面不平直的基片，通過以下計算式計算薄膜應力：

σ=-Es·hs26(1-vs)·hf(1R-1R0)=-Es·hs212(1-vs)·hf·(H-hs)[∂(D-D0)∂l];]]>

其中σ是薄膜應力，R₀是基片鍍膜前的曲率半徑；R是基片鍍膜后的曲率半徑；E_s和V_s分別為鍍膜前基片的楊氏模量和泊松比，h_s和h_f分別為鍍膜前基片和薄膜的厚度，l是樣品臺移動的距離；D₀是基片鍍膜前、樣品臺移動距離l時，激光探測儀處的激光光斑的移動的距離；D是基片鍍膜后、樣品臺移動距離l時，激光探測儀處的激光光斑的移動的距離；H是樣品臺到半透鏡中心的垂直距離與半透鏡中心到激光探測儀表面的距離之和。