[發明專利]陣列基板及其制造方法和觸摸屏

有效

• 申請號: 201310699768.8
• 申請日: 2013-12-17
• 公開（公告）號: CN103676280B
• 公開（公告）日: 2016-10-12
• 發明（設計）人: 木素真;胡明
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G06F3/041
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種陣列基板及其制造方法和觸摸屏。

背景技術

觸摸屏按照組成結構可以分為：外掛式觸摸屏（Add?on?Mode?Touch?Panel）、覆蓋表面式觸摸屏（On?Cell?Touch?Panel）以及內嵌式觸摸屏（In?Cell?Touch?Panel）。其中，內嵌式觸摸屏是將觸摸屏的觸摸電極內嵌在液晶顯示面板的內部而形成的觸摸屏。

陣列基板是觸摸屏的重要部件。現有技術中，陣列基板可包括：襯底基板和形成于襯底基板之上的柵線和數據線，柵線和數據線限定像素單元，像素單元內形成有顯示薄膜晶體管和像素電極，襯底基板上還形成有觸摸電極和觸摸薄膜晶體管，顯示薄膜晶體管和觸摸薄膜晶體管均采用底柵型結構，且觸摸薄膜晶體管形成于像素單元之外。

現有技術中，將顯示薄膜晶體管和觸摸薄膜晶體管分離設置，觸摸薄膜晶體管單獨形成于像素單元之外，需要占用陣列基板上像素單元之外的空間，從而使得陣列基板結構復雜。

發明內容

本發明提供一種陣列基板及其制造方法和觸摸屏，用于簡化陣列基板的結構。

為實現上述目的，本發明提供了一種陣列基板，包括：襯底基板，所述襯底基板上形成有柵線和數據線，所述柵線和所述數據線限定出像素單元，所述像素單元包括：顯示薄膜晶體管和像素電極，所述襯底基板上還形成有掃描線、接收線和觸摸電極，部分或者全部所述像素單元還包括：與所述觸摸電極連接的觸摸薄膜晶體管，所述觸摸薄膜晶體管與所述掃描線和所述接收線連接。

可選地，所述觸摸薄膜晶體管的柵極與所述掃描線連接，所述觸摸薄膜晶體管的源極與所述觸摸電極連接，所述觸摸薄膜晶體管的漏極與所述接收線連接。

可選地，所述觸摸電極與所述像素電極同層設置，所述觸摸電極呈縱橫交叉設置。

可選地，所述觸摸薄膜晶體管的柵極與所述掃描線同層設置，所述觸摸薄膜晶體管的柵極和所述掃描線位于所述數據線的上方，所述觸摸薄膜晶體管的源極、所述觸摸薄膜晶體管的漏極和所述接收線與所述數據線同層設置。

可選地，還包括：與所述柵線同層設置的第一遮擋圖形以及與所述掃描線同層設置的第二遮擋圖形；

所述觸摸薄膜晶體管的柵極位于所述第一遮擋圖形的上方，所述第二遮擋圖形位于所述顯示薄膜晶體管的柵極的上方。

可選地，所述觸摸薄膜晶體管的柵極與所述第一遮擋圖形部分或者全部重合，所述第二遮擋圖形與所述顯示薄膜晶體管的柵極部分或者全部重合。

可選地，還包括：公共電極，所述像素電極和所述公共電極之間形成有第一存儲電容和第一液晶電容，所述觸摸電極與所述公共電極之間形成有第二存儲電容和第二液晶電容。

為實現上述目的，本發明提供了一種觸摸屏，包括：相對設置的彩膜基板和上述陣列基板，所述彩膜基板和所述陣列基板之間設置有液晶層。

為實現上述目的，本發明提供了一種陣列基板的制造方法，包括：

在襯底基板上形成柵線、數據線、掃描線、接收線、顯示薄膜晶體管和觸摸薄膜晶體管，所述柵線和所述數據線限定像素單元，所述顯示薄膜晶體管位于所述像素單元中，所述觸摸薄膜晶體管位于部分或者全部所述像素單元中；

在襯底基板上形成像素電極和觸摸電極，所述像素電極與所述顯示薄膜晶體管連接，所述觸摸電極與所述觸摸薄膜晶體管連接，所述像素電極位于所述像素單元中，所述觸摸薄膜晶體管與所述掃描線和所述接收線連接。

可選地，所述在襯底基板上形成柵線、數據線、掃描線、接收線、顯示薄膜晶體管和觸摸薄膜晶體管包括：

在所述襯底基板上形成所述柵線和所述顯示薄膜晶體管的柵極；

在所述襯底基板上形成柵絕緣層，所述柵絕緣層位于所述柵線和所述顯示薄膜晶體管的柵極之上；

在所述柵絕緣層上形成所述顯示薄膜晶體管的有源層和所述觸摸薄膜晶體管的有源層；

在所述襯底基板上形成所述數據線、所述接收線、所述顯示薄膜晶體管的源極和漏極以及所述觸摸薄膜晶體管的源極和漏極，所述顯示薄膜晶體管的源極和漏極位于所述顯示薄膜晶體管的有源層上，所述觸摸薄膜晶體管的源極和漏極位于所述觸控薄膜晶體管的有源層上；

在所述襯底基板上形成第一鈍化層，所述第一鈍化層位于所述數據線、所述接收線、所述顯示薄膜晶體管的源極和漏極以及所述觸摸薄膜晶體管的源極和漏極之上；

在所述第一鈍化層上形成所述掃描線和所述觸摸薄膜晶體管的柵極；