[發(fā)明專利]激光加工方法和微粒層形成劑

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310698753.X
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN103894738A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 北原信康;大浦幸伸;原田晴司;下房大悟
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B23K26/362
• 分類號(hào): B23K26/362;B23K26/18
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

1.一種激光加工方法，其是對被加工物照射激光束而實(shí)施燒蝕加工的激光加工方法，其特征在于，該激光加工方法具備：

微粒層形成步驟，利用對照射于被加工物的激光束的波長具有吸收性的微粒被覆被加工物的一個(gè)面，從而在被加工物的一個(gè)面上形成微粒層；和

加工步驟，在實(shí)施了該微粒層形成步驟后，隔著所述微粒層對被加工物照射激光束，從而對被加工物的一個(gè)面實(shí)施燒蝕加工。

2.如權(quán)利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述微粒層由所述微粒和附著提高液體構(gòu)成，所述附著提高液體提高該微粒對被加工物的一個(gè)面的附著性。

3.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于，所述微粒層形成步驟包括：

保持步驟，利用旋轉(zhuǎn)臺(tái)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式保持被加工物；

被覆步驟，在實(shí)施了該保持步驟后，向被加工物的一個(gè)面供給在至少由水和所述附著提高液體構(gòu)成的溶液中分散有所述微粒的混合液，從而利用該混合液被覆被加工物的一個(gè)面；和

干燥步驟，在實(shí)施了該被覆步驟后，使被加工物旋轉(zhuǎn)從而使被加工物的一個(gè)面上的所述混合液干燥，由此在被加工物的一個(gè)面上形成微粒層。

4.如權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的激光加工方法，其特征在于，所述附著提高液體至少含有表面活性劑。

5.如權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的激光加工方法，其特征在于，所述微粒對于照射于被加工物的所述激光束具有的吸收性比被加工物的一個(gè)面具有的吸收性高。

6.一種微粒層形成劑，其是在被加工物的一個(gè)面上形成微粒層的微粒層形成劑，其特征在于，該微粒層形成劑至少由對照射于被加工物的激光束的波長具有吸收性的2個(gè)以上微粒、和提高該微粒對被加工物的一個(gè)面的附著性的附著提高液體和水構(gòu)成。

7.如權(quán)利要求6所述的微粒層形成劑，其特征在于，所述附著提高液體至少含有表面活性劑。

8.如權(quán)利要求6或7所述的微粒層形成劑，其特征在于，所述微粒對于照射于被加工物的所述激光束具有的吸收性比被加工物的一個(gè)面具有的吸收性高。