[發(fā)明專利]一種軌道側(cè)方位定位機(jī)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310697074.0 | 申請(qǐng)日: | 2013-12-18 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103715122A | 公開(kāi)(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 杜紹明;王云峰;金元甲 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 大連佳峰電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/68 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/68;H01L21/60 |
| 代理公司: | 大連星海專利事務(wù)所 21208 | 代理人: | 花向陽(yáng) |
| 地址: | 116600 遼*** | 國(guó)省代碼: | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 軌道 方位 定位 機(jī)構(gòu) | ||
1.一種軌道側(cè)方位定位機(jī)構(gòu),包括引線(2)和引線軌道(1),其特征在于:所述引線軌道(1)相對(duì)的一側(cè)設(shè)有多套定位組件,每套定位組件設(shè)有擺動(dòng)臂(6),擺動(dòng)臂(6)的一端與固定在定位固定殼(3)上的軸(5)成轉(zhuǎn)動(dòng)連接,另一端設(shè)有外螺紋型軸承(4),采用一個(gè)彈簧柱塞(7)頂在擺動(dòng)臂(6)的側(cè)面;所述引線(2)在移動(dòng)中,外螺紋型軸承(4)在引線(2)的側(cè)面滾動(dòng),通過(guò)彈簧柱塞(7)作用在擺動(dòng)臂(6)上的彈簧力,使外螺紋型軸承(4)緊靠引線(2)的側(cè)面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種軌道側(cè)方位定位機(jī)構(gòu),其特征在于:所述外螺紋型軸承(4)的表面粗糙度為Ra0.8-1.6。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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