[發明專利]一種氣體微流量測量裝置

有效

• 申請號: 201310694925.6
• 申請日: 2013-12-17
• 公開（公告）號: CN103644947B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 岳向吉;巴德純;巴要帥;劉坤
• 申請（專利權）人: 東北大學
• 主分類號: G01F1/66
• 分類號: G01F1/66
• 代理公司: 沈陽東大知識產權代理有限公司21109
• 代理人: 梁焱

1.一種氣體微流量測量裝置，包括入口穩壓系統(1)、被測微納通道或器件(2)、容積指示單元、出口穩壓系統(4)、真空抽氣系統(13)和圖像記錄單元(5)，其中入口穩壓系統(1)、被測微納通道或器件(2)、通道指示單元和出口穩壓容器(4)按順序依次串聯組成封閉系統，其特征在于：所述的容積指示單元為雙通道容積指示單元(3)，所述的雙通道容積指示單元(3)由雙通道并聯而成，其中一個通道由導管依次連接第五閥門(21)、第一標定管(22)和第六閥門(23)串聯而成，另一通道由導管依次連接第七閥門(27)、第二標定管(25)和第八閥門(24)串聯而成，在第一標定管(22)或者第二標定管(25)注入液滴(26)，所述的圖像記錄單元(5)設置在注入液滴(26)的標定管前，記錄跟蹤液滴(26)的運動。

2.根據權利要求1所述的一種氣體微流量測量裝置，其特征在于：所述的入口穩壓系統包括利用導管按順序依次連接第一閥門(8)、入口容器(7)，所述入口容器(7)的一個接口利用導管接出并依次連接第一節流閥(10)、第三閥門(12),所述的入口容器(7)分別固定連接第一壓力傳感器(11)和入口容器接口(6)；所述的出口穩壓系統(4)包括利用導管按順序依次連接第二閥門(18)、出口容器(19)，所述的出口容器(7)的一個接口利用導管接出并依次連接第二節流閥(16)、第四閥門(14)，在出口容器(19)分別固定連接第二壓力傳感器(15)和出口容器接口(20)；所述的入口穩壓系統(1)中的第三閥門(12)和出口穩壓系統(4)的第四閥門(14)分別與真空抽氣系統(13)相連；所述的入口穩壓系統(1)的第一閥門(8)固定連接第一供氣流量計(9)；所述的出口穩壓系統(4)的第二閥門(18)固定連接第二供氣流量計(17)。

3.根據權利要求1所述的一種氣體微流量測量裝置，其特征在于：所述的圖像記錄單元(5)由顯微物鏡(28)和CCD相機(29)構成。