[發(fā)明專利]一種用于減緩燈窗表面污染的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310694073.0
• 申請日: 2013-12-15
• 公開（公告）號: CN104716012B
• 公開（公告）日: 2017-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李海洋;李金旭;趙無垛;齊國臣;劉巍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類號: H01J49/16
• 分類號: H01J49/16;H01J49/22
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司21002
• 代理人: 馬馳

1.一種用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：包括從上到下依次排列的燈窗（1）、側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）、推斥電極（3）、聚焦電極（4），skimmer電極（5）；所述燈窗（1）設(shè)置在側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）的正上方；所述側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）是中部設(shè)置有通孔的電極片，電極片沿通孔的中心線切分為電極A和電極B，電極A和電極B在同一平面內(nèi)，二者間隔設(shè)置；于側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）下方設(shè)置有推斥電極（3），推斥電極（3）是中部設(shè)有通孔的板狀電極板；所述推斥電極（3）下方設(shè)置有聚焦電極（4），聚焦電極（4）為單個金屬板狀電極或多個同軸、相同間隔設(shè)置的金屬板狀電極，聚焦電極（4）中部設(shè)有貫穿的通孔；所述聚焦電極（4）正下方設(shè)置skimmer電極（5），skimmer電極（5）為中空的圓柱狀結(jié)構(gòu)，沿軸線上設(shè)置通孔；所述側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）、推斥電極（3）、聚焦電極（4）和skimmer電極（5）上的通孔同軸設(shè)置，燈窗（1）設(shè)置在側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）通孔軸線正上方；所述推斥電極（3）和聚焦電極（4）的中間區(qū)域?yàn)殡婋x區(qū)（6）；電離區(qū)通過毛細(xì)管與裝置外部相通，樣品氣體通過毛細(xì)管將導(dǎo)入到電離區(qū)（6）內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：所述聚焦電極（4）個數(shù)為1-7個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）的電極A和電極B上面施加有不同的電壓，電極A和電極B之間形成壓差；在電壓差的作用下，進(jìn)入側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極的離子發(fā)生偏轉(zhuǎn)向電極A或電極B的運(yùn)動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：電極A和電極B的電壓差范圍為1-50V。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：于燈窗（1）遠(yuǎn)離側(cè)向偏轉(zhuǎn)電極（2）的一側(cè)設(shè)置有光源，光源發(fā)出的光垂直照射在燈窗（1）上；所述光源為氣體放電燈光源、激光光源或同步輻射光源中的一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：所述skimmer電極（5）下設(shè)置圓柱凸臺，skimmer電極上的通孔為錐形孔；所述錐形孔的底穿過skimmer電極（5）的上表面，錐形孔的頂穿出圓柱凸臺的下表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于減緩燈窗表面污染的裝置，其特征在于：所述推斥電極（3）、聚焦電極（4），skimmer電極（5）上施加直流傳輸電壓；離子從毛細(xì)管通過小孔導(dǎo)入到電離區(qū)（6）里，然后通過skimmer電極（5）圓柱凸臺的下表面通孔導(dǎo)出。