[發明專利]具有改善的可靠性的無掩模光刻系統

有效

• 申請號: 201310693649.1
• 申請日: 2006-07-25
• 公開（公告）號: CN103645615A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 斯泰恩·威廉·赫爾曼·卡雷爾·斯騰布林克;彼得·克勒伊特;馬爾科·揚-哈科·威蘭
• 申請（專利權）人: 邁普爾平版印刷IP有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張英;王玉桂

1.一種利用無掩模多細光束光刻系統來將圖案轉移到目標的表面上的方法，包括以下步驟：

-產生多個細光束；

-測量每個細光束的性能；

-將所述多個細光束中的具有在所述性能的預定數值范圍之外的性能值的細光束確定為無效細光束，并且將所述多個細光束中的具有在所述性能的預定數值范圍之內的性能值的細光束確定為有效細光束；

-關掉或永久地取消所述無效細光束，由此防止無效細光束到達所述表面；

-在第一行的第一掃描期間，相對于系統的其余部分沿著第一行在掃描方向（S1）上移動所述目標，并且在所述移動期間，通過使用所述多個細光束中的所述有效細光束將所述圖案寫入到所述表面上，其中在所述無效細光束的位置上的所述圖案的部分沒有被正確地寫入；

-隨后彼此相對地移動所述表面和至少部分所述光刻系統，其中所述移動的大小使得用替代細光束代替每個無效細光束，其中所述替代細光束是所述多個細光束的所述有效細光束之一，其中所述移動在基本上垂直于所述掃描方向（S1）的移動方向（S2）上執行一距離，使得被無效細光束覆蓋的位置在被替代細光束覆蓋的第二掃描中；

-在所述第一行的第二掃描期間，相對于系統的其余部分沿著所述第一掃描的所述第一行移動所述目標，并且在所述移動期間，用于所述第一掃描的所述無效細光束的圖案數據被用于在所述第二掃描期間控制所述替代細光束；以及

-在所述第二掃描之后，移動所述目標以允許掃描下一行。

2.根據權利要求1所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，進一步包括以下步驟：

-向控制器提供圖案數據；

-存儲用于確定所述無效細光束的信息；

-借助于由所述控制器控制的調制器取決于所述圖案數據來分別調制每個細光束。

3.根據權利要求2所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，對于所述第二掃描，所述控制器將用于所述第一掃描的所述無效細光束的圖案數據再發送至所述調制器以控制所述替代細光束。

4.根據權利要求2或3所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，所述細光束光學單元和所述目標相對于彼此在垂直于所述掃描方向（S1）的移動方向（S2）上的移動由致動器引起，其中所述致動器與所述控制單元操作性耦合并且適于引起所述移動，從而將有效細光束定位在所述無效細光束的位置上。

5.根據權利要求4所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，所述致動器是用于相對于所述光刻系統的電子光學單元移動所述目標的工作臺。

6.根據權利要求4或5所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中所述細光束是有規則地隔開的并且其中所述致動器適合于轉移或移動兩個相鄰細光束相互距離的整數倍數。

7.根據權利要求6所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，所述光刻系統具有計算裝置，用于發現相鄰的無效細光束，確定鄰近的無效細光束的最大數目以及計算用于移動兩個相鄰細光束相互距離的整數倍數的整數。

8.根據權利要求6所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，至少部分所述細光束是有規則地隔開的并且沿著相對于掃描方向（S1）成較小角度α的線（s）布置，并且其中所述致動器適合于在所述移動方向（S2）上引起所述移動，所述移動具有為d*sin(α)的整數倍的距離，其中d是在兩個相鄰的細光束之間的相互距離。

9.根據權利要求8所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，所述光刻系統具有計算裝置，用于發現相鄰的無效細光束，確定鄰近的無效細光束的最大數目以及計算用于移動d*sin(α)的整數倍的整數，其中d是在兩個相鄰的細光束之間的相互距離。

10.根據權利要求1所述的用于將圖案轉移到目標的表面上的方法，其中，產生的用于轉移圖案的細光束的數目小于在所述光刻系統內可以產生的細光束的數目。