[發(fā)明專利]一種解封樣品密封器的裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310693058.4
• 申請(qǐng)日: 2013-12-17
• 公開（公告）號(hào): CN103693256A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳啟鵬;李丹明;王先榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘭州空間技術(shù)物理研究所
• 主分類號(hào): B65B69/00
• 分類號(hào): B65B69/00
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 李之壯;仇蕾安

1.一種用于解封樣品密封器的裝置，其特征在于：包括主真空室（1）、第一真空手套組件（2）、第二真空手套組件（3）、第一觀察窗（4）、第二觀察窗（5）、上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6）、下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）、電阻規(guī)（8）、電離規(guī)（9）、壓阻真空計(jì)（10）、渦輪分子泵（11）、干泵（12）、第一真空閥門（13）、第二真空閥門（14）、第三真空閥門（15）、第四真空閥門（16）、第五真空閥門（17）、第六真空閥門（18）、氣瓶（19）和樣品密封器（20）；

所述主真空室（1）為圓球形結(jié)構(gòu)，在所述主真空室（1）上設(shè)有艙門，在所述主真空室（1）上開有四個(gè)安裝孔，所述四個(gè)安裝孔分別位于所述主真空室（1）垂直相交的軸線上，在所述主真空室（1）垂直軸線的上端兩側(cè)分別開有通孔；在所述主真空室（1）垂直軸線的下端兩側(cè)分別開有管道連接孔；

在所述上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6）和下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）設(shè)有托盤；

其連接關(guān)系在于：所述第一真空手套組件（2）和第二真空手套組件（3）通過其手套底部密封安裝在所述主真空室（1）水平軸線兩端的安裝孔處，所述第一觀察窗（4）和第二觀察窗（5）密封安裝在所述主真空室（1）垂直軸線上端兩側(cè)的通孔處，所述上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6）和下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）密封安裝在所述主真空室（1）垂直軸線兩端的安裝孔處，所述樣品密封器（20）置于所述主真空室（1）內(nèi)并固定在下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）的托盤上；所述電阻規(guī)（8）、電離規(guī)（9）、壓阻真空計(jì)（10）分別密封安裝在所述上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6）兩側(cè)；所述第一真空手套組件（2）和第二真空手套組件（3）的內(nèi)腔分別與所述干泵（12）通過管路相連，在其對(duì)應(yīng)的管路上安裝所述第四真空閥門（16）和第五真空閥門（17）；所述主真空室（1）的第一管道連接孔通過管路與所述氣瓶（19）相連并在其管路上安裝所述第六真空閥門（18），所述主真空室（1）的第二管道連接孔通過管路與所述渦輪分子泵（11）的一端相連并在其管路上安裝所述第一真空閥門（13），所述渦輪分子泵（11）的另一端通過管路與干泵（12）相連并在其管路上安裝第三真空閥門（15）；所述主真空室（1）的第二管道連接孔還通過管路與所述干泵（12）相連并在其管路上安裝第二真空閥門（14）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的所述一種用于解封樣品密封器的裝置的方法，其特征在于：

步驟一、打開主真空室（1）艙門，將樣品密封器（20）固定于下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）的托盤上；

步驟二、調(diào)節(jié)上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6），使上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6）的托盤與樣品密封器（20）的蓋板連接并固定，關(guān)閉主真空室（1）艙門；

步驟三、用盲板分別將真第一空手套組件（2）和第二真空手套組件（3）密封，開啟干泵（12），打開第四真空閥門（16）和第五真空閥門（17），對(duì)真空手套組件（2）和真空手套組件（3）內(nèi)腔抽真空，抽真空完畢后，關(guān)閉第四真空閥門（16）和第五真空閥門（17）；

步驟四、打開第二真空閥門（14），利用干泵（12）對(duì)主真空室（1）抽粗真空，觀察電阻規(guī)（8）的讀數(shù)，待電阻規(guī)（8）的讀數(shù)低于10Pa時(shí)，關(guān)閉第二真空閥門（14）；

步驟五、打開第三真空閥門（15），對(duì)渦輪分子泵（11）抽粗真空，抽真空完畢后，開啟渦輪分子泵（11），打開第一真空閥門（13），對(duì)主真空室（1）抽真空，待電離規(guī)（9）的讀數(shù)低于5×10^-3Pa時(shí)，關(guān)閉第一真空閥門（13），停止抽氣；

步驟六、打開第六真空閥門（18），通過氣瓶（19）往主真空室（1）內(nèi)充入高純氮?dú)猓^察壓阻真空計(jì)（10）的讀數(shù)，待主真空室（1）內(nèi)的壓力接近外界大氣壓室時(shí)，關(guān)閉第六真空閥門（18），停止充氣；

步驟七、解除真空手套組件（2）和真空手套組件（3）上的盲板，通過真空手套組件（2）和真空手套組件（3）的操作，解除樣品密封器（20）上蓋板的鎖緊密封件；

步驟八、用盲板將真空手套組件（2）和真空手套組件（3）密封，打開第二真空閥門（14），利用干泵（12）對(duì)主真空室（1）抽粗真空，觀察電阻規(guī)（8）的讀數(shù)，待電阻規(guī)（8）的讀數(shù)低于10Pa時(shí)，關(guān)閉第二真空閥門（14）；

步驟九、打開第三真空閥門（15），對(duì)渦輪分子泵（11）抽粗真空，抽真空完畢后，開啟渦輪分子泵（11），打開第一真空閥門（13），對(duì)主真空室（1）抽真空，待電離規(guī)（9）的讀數(shù)低于5×10^-3Pa時(shí)，關(guān)閉第一真空閥門（13），停止抽氣；

步驟十、調(diào)節(jié)下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7），使下真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）上的托盤逆時(shí)鐘方向旋轉(zhuǎn)約30°，調(diào)節(jié)上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（6），使上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）上的托盤向上移動(dòng)，與上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）上的托盤固定的樣品密封器（20）上蓋板隨上真空傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）向上移動(dòng)，使樣品密封器（20）在高真空環(huán)境下解封。