[發明專利]一種多晶硅還原節能生產工藝無效

申請號：	201310692115.7	申請日：	2013-12-17
公開（公告）號：	CN103754881A	公開（公告）日：	2014-04-30
發明（設計）人：	燕軍	申請（專利權）人：	內蒙古同遠企業管理咨詢有限責任公司
主分類號：	C01B33/035	分類號：	C01B33/035
代理公司：	北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368	代理人：	孫國棟
地址：	017300 內蒙古自治***	國省代碼：	內蒙古;15
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種多晶還原節能生產工藝
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【權利要求書】：

1.一種多晶硅還原節能生產工藝，其特征在于：將來自精餾提純工序的三氯氫硅與來自尾氣回收工序的氫氣會合到汽化器中，在汽化器中三氯氫硅與氫氣按照1：5-10比例汽化，氣化后的三氯氫硅與氫氣混合蒸汽一路輸送給過熱器，經過熱器加熱至300-400℃，進入還原爐A，還原爐A出來的還原尾氣與汽化器出來的二路三氯氫硅與氫氣混合蒸汽匯集在一起，分別進入還原爐B和還原爐C，從還原爐B和還原爐C出來的尾氣會合后進入過熱器，從過熱器出來的尾氣進入尾氣冷卻器與循環水換熱后輸送到尾氣回收工序。

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