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[發(fā)明專利]并聯環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310690261.6 申請日: 2013-12-17
公開(公告)號: CN103644118A 公開(公告)日: 2014-03-19
發(fā)明(設計)人: 儲繼國 申請(專利權)人: 儲繼國
主分類號: F04C23/00 分類號: F04C23/00
代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221 代理人: 姜勝攀
地址: 518000 廣東省深圳*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 并聯 環(huán)流 組合 復合 及其 抽氣機
【說明書】:

技術領域

發(fā)明屬于真空泵技術領域,尤其涉及一種并聯環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組。?

背景技術

目前,中真空區(qū)段普遍采用羅茨泵抽氣,該泵體積大、能耗高,而且存在油蒸汽污染。?

傳統的周向牽引分子泵(又稱環(huán)流泵)的結構簡單、能耗低、壓縮能力強,并且能在中真空區(qū)段運行,還能獲得高真空,無油蒸汽污染。然而,該泵抽速小,不到羅茨泵的1/10,不能滿足工業(yè)應用的需求。?

除此之外,傳統環(huán)流泵還存在如下缺點:?

1.?抽氣槽中,外側部位氣體獲得的牽引速度大,壓強提升快,內側部位的氣體壓強提升慢,導致氣體產生紊流,抽速下降,能耗上升。

2.?采用單抽氣槽抽氣,每個抽氣槽中,只設一個抽氣單元;?

3.?抽氣槽的進氣口部位與排氣口部位存在較大的壓強差,導致轉子受力不均衡,在高壓強下運行,易發(fā)生變形、損壞。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于克服上述現有技術的不足,提供一種能在中、高真空區(qū)段有效運行、體積小、重量輕、能耗低、抽速大、無油蒸汽污染和運行可靠的并聯環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組。?

本發(fā)明是這樣實現的,一種并聯環(huán)流泵,包括泵殼以及固設于所述泵殼內壁的隔環(huán),所述隔環(huán)的中心位置設有一沿所述隔環(huán)的軸向延伸的轉軸,所述轉軸上固設有一轉子,所述轉子外周緣凸設有若干間隔設置且與所述轉子同軸的轉子平盤,每相鄰兩所述轉子平盤之間的間隔形成一抽氣槽,所述若干抽氣槽互相并聯,所述隔環(huán)上設有至少一組插入所述抽氣槽的堵塊,所述隔環(huán)上開設有位于所述堵塊兩側的進氣口和排氣口,所述進氣口和排氣口分別相連,組成自外向外抽氣的并聯環(huán)流泵。?

具體地,所述抽氣槽的截面為矩形或倒梯形。?

具體地,最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有起隔離作用的工作間隙,其余所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙是最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙的1.5~5倍。?

具體地,所述轉子平盤的外徑相同,或者所述轉子平盤自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。?

進一步地,所述隔環(huán)緊靠上游抽氣級的一側開設有環(huán)形氣體通道,所述環(huán)形氣體通道與所述進氣口相連。?

本發(fā)明提供的一種組合環(huán)流泵,包括外殼,所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口,所述外殼內設有若干同軸設置且相互串聯的如前所述的并聯環(huán)流泵;?

第一組所述并聯環(huán)流泵的進氣口與所述泵進氣口相對應,第一組所述并聯環(huán)流泵的排氣口與第二組所述并聯環(huán)流泵的進氣口相對應;其余各組所述并聯環(huán)流泵的進氣口與上游并聯環(huán)流泵的排氣口相對應,其余各組所述并聯環(huán)流泵的排氣口與下游所述并聯環(huán)流泵的進氣口相對應,最后一組所述并聯環(huán)流泵的排氣口與所述泵排氣口相對應,組成組合環(huán)流泵。

本發(fā)明提供的一種并聯環(huán)流泵,包括泵殼以及固設于所述泵殼內壁的隔環(huán),所述隔環(huán)的中心位置設有一沿所述隔環(huán)的軸向延伸的轉軸,所述轉軸上固設有一轉子,所述轉子外周緣凸設有若干間隔設置且與所述轉子同軸的轉子平盤,每相鄰兩所述轉子平盤之間的間隔形成一抽氣槽,所述若干抽氣槽互相并聯,所述隔環(huán)上設有至少一組插入所述抽氣槽的堵塊;?

所述抽氣槽的槽底與所述轉子分離,所述抽氣槽的槽底與所述堵塊相連,所述堵塊順著氣流方向傾斜;

所述隔環(huán)緊靠所述堵塊的一側設有排氣口,所述槽底緊靠所述堵塊的另一側設有進氣口;或者,所述隔環(huán)緊靠所述堵塊的一側設有進氣口,所述槽底緊靠所述堵塊的另一側設有排氣口;

所述轉子平盤靠近所述轉軸部位開設有氣體通道;

所述進氣口、排氣口和氣體通道均與所述抽氣槽相通,組成自內向外或自外向內抽氣的并聯環(huán)流泵。

具體地,所述抽氣槽的截面為矩形或倒梯形;?

最外側的兩所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有起隔離作用的工作間隙,其余所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有的工作間隙是最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙的1.5~5倍;

所述轉子平盤的外徑相同,或者所述轉子平盤的外徑自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。

本發(fā)明提供的一種臥式復合環(huán)流泵,包括外殼,所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口,?

所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯的徑流泵組和環(huán)流泵組,所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置,所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置;

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