[發明專利]一種干燥裝置

有效

• 申請號: 201310689621.0
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN103712428A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 劉曉偉;李梁梁;劉耀;馮玉春;郭總杰
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及顯示技術的制備領域，尤其涉及一種干燥裝置。

背景技術

目前，在顯示技術領域的相關器件，如陣列基板、彩膜基板等基板的制造過程中，為了提高基板的合格率，基板在經過如濕法刻蝕、清洗或剝離等工藝后，需要經過干燥工序以去除基板表面的清洗液等殘留液水痕，這一過程往往是通過氣刀(Air?Knife)向待干燥的基板表面噴射干燥用空氣，從而吹去基板上的殘留液。

如圖1所示，在干燥裝置10的腔體101內部設置有位置固定的第一氣刀111，待干燥基板140放置在傳輸滾輪120a之上，在傳輸滾輪120a的帶動下沿著設定的傳輸方向傳送至第一氣刀111處，并從第一氣刀111噴出的清潔干燥的高壓空氣之間穿過，通過第一氣刀111噴出的空氣，將待干燥基板140表面各部分殘留的清洗液吹向未干燥區01，從而完成整塊基板的干燥過程。

在實現上述基板的干燥的過程中，發明人發現現有技術中至少存在如下問題；

如圖2所示，由于第一氣刀111需要與待干燥基板140的表面具有一定的傾斜角度，才能夠將待干燥基板140的表面殘存的水痕沿著圖中方向a吹向未干燥區01，從而使得待干燥基板140穿過第一氣刀111后完成干燥過程。在第一氣刀111將傳輸至出氣口110a的待干燥基板140表面的水汽吹向未干燥區01的過程中，由于高壓空氣的回流作用，如圖中方向b所示，一部分水汽會進入到已干燥區02，使經過第一氣刀111的基板表面部分區域殘存清洗液，從而降低了待干燥基板140的干燥效率；此外，表面具有殘存清洗液的基板在后續的工藝，例如鍍膜工藝中，將產生膜層氣泡或顆粒殘留等工藝不良，從而影響基板的整體性能。

發明內容

本發明的實施例提供一種干燥裝置，可以提高待干燥基板的干燥效率，避免由于基板干燥不充分而影響后續的工藝制程。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案；

本發明實施例提供了一種干燥裝置，包括腔體，所述干燥裝置還包括位于所述腔體內的氣刀、承載裝置和抽氣裝置；其中，所述氣刀至少包括第一氣刀，且所述第一氣刀沿第一方向呈銳角傾斜；所述抽氣裝置和所述第一氣刀均位于所述承載裝置的上方，且所述抽氣裝置設置在所述第一氣刀與所述第一方向呈銳角夾角的一側，并靠近所述第一氣刀；位于所述承載裝置上方的待干燥基板相對所述第一氣刀沿所述第一方向移動。

可選的，所述第一氣刀沿與所述第一方向相反的方向移動，且所述抽氣裝置與所述第一氣刀同步沿相同方向移動；所述待干燥基板位置固定。

優選的，所述干燥裝置還包括與所述第一氣刀和所述抽氣裝置連接的傳動絲杠，以及與所述傳動絲杠連接的驅動裝置。

可選的，所述承載裝置控制位于所述承載裝置上方的待干燥基板沿所述第一方向移動；所述第一氣刀和所述抽氣裝置位置固定。

進一步可選的，所述氣刀還包括第二氣刀，所述第二氣刀沿所述第一方向呈銳角傾斜；所述第二氣刀位于所述承載裝置的上方，且沿所述第一方向，所述抽氣裝置設置在所述第一氣刀與所述第二氣刀之間。

優選的，在所述抽氣裝置與所述第一氣刀同步沿相同方向移動的情況下，所述第一氣刀、所述第二氣刀以及所述抽氣裝置同步沿相同方向移動。

可選的，所述抽氣裝置的吸氣槽到所述待干燥基板的垂直距離大于所述第二氣刀的出氣口到所述待干燥基板的垂直距離。

可選的，所述氣刀還包括第三氣刀，所述第三氣刀沿所述第一方向呈銳角傾斜；其中，所述第三氣刀位于所述承載裝置的下方。

優選的，在所述抽氣裝置與所述第一氣刀同步沿相同方向移動的情況下，所述第一氣刀、所述第三氣刀以及所述抽氣裝置同步沿相同方向移動。

進一步優選的，所述第三氣刀與所述第一氣刀相對所述承載裝置上方的待干燥基板對稱設置。

本發明實施例提供了一種干燥裝置，包括腔體，所述干燥裝置還包括位于所述腔體內的氣刀、承載裝置和抽氣裝置；其中，所述氣刀至少包括第一氣刀，且所述第一氣刀沿第一方向呈銳角傾斜；所述抽氣裝置和所述第一氣刀均位于所述承載裝置的上方，且所述抽氣裝置設置在所述第一氣刀與所述第一方向呈銳角夾角的一側，并靠近所述第一氣刀；位于所述承載裝置上方的待干燥基板相對所述第一氣刀沿所述第一方向移動。