[發明專利]一種靜電卡盤靜電吸附力及脫附時間的測量裝置

無效

• 申請號: 201310689053.4
• 申請日: 2013-12-17
• 公開（公告）號: CN103698070A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 徐登峰;程嘉;許巖;王興闊;張旭光;王珂晟;成榮;劉濤
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技有限公司
• 主分類號: G01L5/00
• 分類號: G01L5/00;G01M13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種靜電卡盤靜電吸附力及脫附時間的測量裝置，其特征在于，包括：

真空腔室；

靜電卡盤(10)；所述靜電卡盤設于真空腔室內；

測量系統(14)，所述測量系統設于真空腔室內，所述測量系統位于所述靜電卡盤(10)的下方；

和動力系統，所述動力系統安裝在所述真空腔室上，所述動力系統用于帶動測量靜電卡盤移動，使所述測量系統與靜電卡盤產生相對運動。

2.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述測量系統固定安裝在所述真空腔室內的下部；所述動力系統帶動所述靜電卡盤(10)在靠近所述測量系統和遠離所述測量系統的方向上移動。

3.根據權利要求2所述的測量裝置，其特征在于，

所述動力系統包括：

傳動裝置，所述傳動裝置與所述靜電卡盤連接；

和驅動裝置，所述驅動裝置連接所述傳動裝置，并通過傳動裝置驅動真空腔室內的靜電卡盤移動。

4.根據權利要求3所述的測量裝置，其特征在于，所述測量裝置還包括：

腔室支架(1)，所述腔室支架(1)適于支撐真空腔室；所述驅動裝置安裝在所述腔室支架(1)上，所述驅動裝置位于真空腔室的下方；

所述驅動裝置包括：電機支座(4)、垂向電機(5)、和用以控制所述垂向電機(5)精密運動的控制系統。

5.根據權利要求4所述的測量裝置，其特征在于，所述真空腔室底部設有安裝孔；

所述傳動裝置包括：直線軸承(3)、導向軸固定件(6)、導向軸(7)、靜電卡盤連接件(9)、與所述安裝孔和所述導向軸(7)相配合的動密封件(19)；

所述導向軸(7)一端通過導向軸固定件(6)與所述驅動裝置連接，另一端通過動密封件(19)進入所述真空腔室內，通過所述直線軸承(3)與所述靜電卡盤連接件(9)連接，所述靜電卡盤連接件(9)通過螺栓與靜電卡盤(10)連接。

6.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述測量系統(14)包括：傳感器基座(16)、壓力傳感器(17)、和支撐件(18)，所述壓力傳感器(17)安裝在傳感器基座(16)上，傳感器基座(16)固定在真空腔室底部，壓力傳感器(17)上方與所述支撐件(18)連接，所述支撐件(18)適于支撐晶片。

7.根據權利要求6所述的測量裝置，其特征在于，所述支撐件(18)穿過靜電卡盤(10)自帶的PIN孔與晶片接觸，所述支撐件(18)為頂針或銷。

8.根據權利要求6所述測量裝置，其特征在于，所述測量裝置包括三個以上所述測量系統，所述各個測量系統在真空腔室底部呈圓周等分分布。

9.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述真空腔室包括腔室殼體(12)、觀察窗(2)、功能預留口和真空獲取裝置；

所述測量裝置得到的測量數據通過真空腔室(12)上的功能預留口傳出；

所述真空獲取裝置包括干泵和分子泵，所述干泵和所述分子泵并聯連接，通過管道與真空腔室(12)連接。

10.根據權利要求9所述的測量裝置，其特征在于，所述功能預留口包括數據傳輸口(15)、等離子輸入口(13)以及抽氣孔(8)；所述數據傳輸口(15)位于腔室底部，壓力傳感器(17)數據輸出線通過數據傳輸口(15)與腔室外部的數據采集系統連接，其中數據傳輸口(15)通過靜密封件密封；等離子輸入口(13)位于真空腔室頂部中間位置，通過法蘭盤與外部等離子體輸入管道連接，抽氣孔(8)位于腔室底部，通過法蘭盤與真空獲取裝置連接。