[發(fā)明專(zhuān)利]一種電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310688061.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103698630A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳俊;魏振;郭世波;陳慶友;付修行;孫緯偉;周登成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/00
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/00
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：

機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)包括：支撐待測(cè)基板的可升降臺(tái)和固定臺(tái)，所述固定臺(tái)位于所述可升降臺(tái)的上方，所述升降臺(tái)可帶動(dòng)所述待測(cè)基板向所述固定臺(tái)移動(dòng)一定距離；

位于所述機(jī)臺(tái)上方、用于固定探針框架的安裝架，所述安裝架與所述機(jī)臺(tái)相對(duì)設(shè)置、且所述安裝架可沿所述機(jī)臺(tái)的可升降臺(tái)的升降方向移動(dòng)；

至少一個(gè)設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)的固定臺(tái)和所述探針框架之間、用于支撐所述探針框架和調(diào)節(jié)所述固定臺(tái)與所述探針框架之間距離的伸縮機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述伸縮機(jī)構(gòu)為四個(gè)，每一個(gè)所述伸縮機(jī)構(gòu)包括：固定于所述固定臺(tái)的驅(qū)動(dòng)裝置、與所述驅(qū)動(dòng)裝置相對(duì)固定的缸筒、第一活塞桿和第二活塞桿，所述第二活塞桿與所述驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，所述第一活塞桿的伸出端的末端與所述探針框架朝向所述固定臺(tái)的一面相抵。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述缸筒具有與所述第一活塞桿的活塞滑動(dòng)密封的第一滑動(dòng)腔和與所述第二活塞桿的活塞滑動(dòng)密封的第二滑動(dòng)腔，所述第一滑動(dòng)腔的直徑大于所述第二滑動(dòng)腔的直徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置為液壓馬達(dá)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述第一活塞桿的伸出端設(shè)有位移傳感器，所述位移傳感器用于檢測(cè)和顯示所述第一活塞桿的末端與所述固定臺(tái)之間的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述伸縮機(jī)構(gòu)為四個(gè)驅(qū)動(dòng)油缸，所述驅(qū)動(dòng)油缸的活塞桿自其缸筒的一端伸出，且所述活塞桿的伸出端的末端與所述探針框架朝向所述固定臺(tái)的一面相抵，所述驅(qū)動(dòng)油缸的缸筒的另一端與所述固定臺(tái)固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述活塞桿的伸出端設(shè)有位移傳感器，所述位移傳感器用于檢測(cè)和顯示所述活塞桿的末端與所述固定臺(tái)之間的距離。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的電學(xué)陣列檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述可升降臺(tái)朝向所述探針框架的一面設(shè)有與所述待測(cè)基板的四個(gè)角一一對(duì)應(yīng)的壓力傳感器，當(dāng)所述壓力傳感器感應(yīng)到壓力時(shí)，所述壓力傳感器的指示燈發(fā)光；當(dāng)所述壓力傳感器未感應(yīng)到壓力時(shí)，所述壓力傳感器的指示燈熄滅。