[發(fā)明專利]外觀檢查裝置以及外觀檢查方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310688026.5
• 申請(qǐng)日: 2013-11-21
• 公開（公告）號(hào): CN103837540A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上村拓人;伊藤隆;山崎敬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社拓普康
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01B11/06
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 孫蕾

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用攝像元件對(duì)半導(dǎo)體晶片等進(jìn)行攝影而檢查外觀的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法。

背景技術(shù)

以往就檢查半導(dǎo)體晶片等試樣的外觀，進(jìn)行探測(cè)在其表面上所形成的電路等的缺陷的外觀檢查。關(guān)于這樣的外觀檢查，用白色光照明試樣，用具有例如CCD攝像元件的彩色攝像裝置對(duì)表面的狀態(tài)進(jìn)行攝像，對(duì)取得的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，檢測(cè)缺陷部分。并且，在這樣的外觀檢查裝置中，為提高檢查的精度，想出各種各樣的辦法。

專利文獻(xiàn)1公開了—種外觀檢查方法，其特征是，把具有互補(bǔ)顏色關(guān)系的3個(gè)點(diǎn)光，從互相成120度的角度的3個(gè)方向，從相對(duì)被檢查面斜向并且互相不同的垂直面，以在被照明面上互相重疊的方式進(jìn)行照明，使上述被檢查面上的立體物的、通過上述3個(gè)點(diǎn)光形成的影連接地產(chǎn)生，調(diào)查上述影的XY坐標(biāo)的連接度，判定是缺陷還是噪音。

另外專利文獻(xiàn)2公開了—種微檢查裝置，包含：具有照射可干涉光的光源的微檢查用照明裝置、支撐形成有規(guī)定的圖案的微細(xì)被加工面的基板的支撐單元、和根據(jù)來(lái)自微細(xì)被加工面的衍射光判定在基板上形成的圖案是否從規(guī)定圖案發(fā)生變形的判定單元。在該裝置中，微檢查用照明裝置用照射包含有處于補(bǔ)色關(guān)系的2個(gè)顏色的可干涉光的光的裝置構(gòu)成。微檢查用照明裝置對(duì)于支撐單元的微細(xì)被加工面以規(guī)定的角度照射可干涉光。

現(xiàn)有技術(shù)

專利文獻(xiàn)1：參照日本特許第2914967號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：參照日本特開2001-141657號(hào)公報(bào)

但是，以往的外觀檢查裝置雖然能夠進(jìn)行表面的凹凸或者損傷等試樣的表面形狀的缺陷的檢測(cè)，但是具有不容易檢測(cè)其他缺陷這樣的問題。也就是說(shuō)，關(guān)于以聚酰亞胺樹脂保護(hù)膜的有無(wú)等所代表的透明材料的檢測(cè)困難。例如關(guān)于以Au膜和Cu膜的判別等所代表的同色異種材料的檢測(cè)、膜的厚薄等的膜厚狀態(tài)的差的檢測(cè)困難。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述課題而被做出的，其目的是提供一種能夠檢測(cè)各種各樣的材質(zhì)的差異或者缺陷的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法。

為解決上述課題，本發(fā)明的外觀檢查裝置具有：配置試樣的試樣臺(tái)；具有光源、對(duì)上述試樣照射照明光的照明裝置；對(duì)用上述照明裝置照明的上述試樣進(jìn)行攝像并輸出彩色圖像數(shù)據(jù)的攝影單元；和根據(jù)上述彩色圖像數(shù)據(jù)檢查上述試樣的外觀的檢查處理部，其特征在于，上述照明裝置對(duì)于上述試樣照射根據(jù)應(yīng)檢查的缺陷的原因而決定的特定的波長(zhǎng)范圍的照明光。

同樣為解決上述課題，發(fā)明的外觀檢查方法的特征在于，對(duì)作為檢查對(duì)象的試樣照射根據(jù)應(yīng)檢查的缺陷的原因而決定的規(guī)定的波長(zhǎng)范圍的照明光，用攝影單元取得該試樣的彩色圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)上述彩色圖像數(shù)據(jù)檢查上述試樣的外觀。

根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)檎彰餮b置向上述試樣照射根據(jù)應(yīng)檢測(cè)的缺陷的種類而預(yù)定的特定的波長(zhǎng)范圍的照明光，所以能夠容易地檢測(cè)試樣的表面形狀以外的各種缺陷。

附圖說(shuō)明

圖1是說(shuō)明本發(fā)明的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法的原理的示意圖。

圖2是說(shuō)明本發(fā)明的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法的原理的示意圖。

圖3是說(shuō)明本發(fā)明的外觀檢查裝置以及外觀檢查方法的原理的示意圖。

圖4是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的外觀檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖5是表示該外觀檢查裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。

圖6是表示該外觀檢查裝置的動(dòng)作的流程圖。

圖7是表示用攝像裝置取得的圖像數(shù)據(jù)以及強(qiáng)調(diào)處理后的圖像數(shù)據(jù)的示意圖。

圖8是表示用攝像裝置取得的圖像數(shù)據(jù)以及強(qiáng)調(diào)處理后的圖像數(shù)據(jù)的示意圖。

圖9是表示第二實(shí)施方式的外觀檢查裝置的示意圖。

符號(hào)說(shuō)明

10：基板

12：膜

13：鍍膜

14：鍍膜

20：攝像裝置

100：外觀檢查裝置

110：試樣臺(tái)

120：顯微鏡

121：分光鏡

130：第一照明裝置

131：第一光源

132：第一波長(zhǎng)選擇結(jié)構(gòu)

133：圓板構(gòu)件

134：旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)

140：彩色照相機(jī)

150：第二照明裝置

151：第二光源

152：第二波長(zhǎng)選擇結(jié)構(gòu)

153：圓板構(gòu)件

154：旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)

155：導(dǎo)光單元

156：環(huán)照明單元

160：處理裝置