[發明專利]單晶體的上爐體

在審

• 申請號: 201310684249.4
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN104711682A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 潘燕萍
• 申請（專利權）人: 常州市天龍光電設備有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

技術領域

本發明涉及單晶硅制造設備技術領域，特別涉及一種單晶爐的上爐體。

背景技術

單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛應用于半導體器件以及太陽能電池的制造。單晶硅使用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成的，在市場上有很廣闊的前景。目前單晶硅的拉制裝置為單晶爐，它是由上爐體、下爐室、上爐室、爐蓋、翻板箱、副室六大部分組成，目前普遍采用的單晶爐的上爐體只有單層爐壁，由于在單晶爐的工作過程中長時間處于高溫狀態，會將上爐體燒壞，造成很大的損失。

發明內容

本發明的目的是提供一種使用壽命長，能夠散熱的單晶爐的上爐體。

實現本發明的技術方案如下：

一種單晶爐的上爐體，包括上法蘭、下法蘭、爐內壁和爐外壁，所述上法蘭和下法蘭之間設有爐外壁和爐內壁，爐外壁上設有進水口和出水口，爐外壁和爐內壁之間設有水夾層，水夾層內設有若干個過濾板，過濾板兩邊與水夾層內的爐外壁和爐內壁連接固定，過濾板上開設有若干個通孔，每相鄰兩個過濾板上的通孔為交錯對應。

所述過濾板均布于水夾層內且相互平行，過濾板上的通孔為均勻布置，能夠使水的流量均勻，充分達到吸收熱量的效果。

所述過濾板為耐高溫的金屬板，能夠吸收熱量而不至于變形。

所述進水口與出水口在相反的位置，且進水口的位置高于出水口，易于操作。

本發明的有益效果是：爐外壁和爐內壁之間的水夾層內為冷卻系統，通過冷卻系統可以降低上爐體的溫度，過濾板能夠使冷卻介質在水夾層內充分吸收熱量，從而達到冷卻的效果，結構簡單且散熱快。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為過濾板的結構示意圖。

附圖中，1為上法蘭，2為下法蘭，3為進水口，4為出水口，5為爐內壁，6為爐外壁，7為過濾板，8為通孔，9為水夾層。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明進行進一步說明；

參見圖1和圖2所示，一種單晶爐的上爐體，包括上法蘭1、下法蘭2、爐內壁5和爐外壁6，所述上法蘭1和下法蘭2之間設有爐外壁6和爐內壁5，爐外壁上6設有進水口3和出水口4，爐外壁6和爐內壁5之間設有水夾層9，水夾層9內設有若干個過濾板7，過濾板7兩邊與水夾層9內的爐外壁6和爐內壁5連接固定，過濾板7上開設有若干個通孔8，每相鄰兩個過濾板7上的通孔為交錯對應。

所述過濾板7均布于水夾層9內且相互平行，過濾板7上的通孔8為均勻布置，能夠使水的流量均勻，充分達到吸收熱量的效果，過濾板7為耐高溫的金屬板，能夠吸收熱量而不至于變形，進水口3與出水口4在相反的位置，且進水口3的位置高于出水口4，易于操作。

本發明并不局限于所述的實施例，本領域的技術人員在不脫離本發明的精神即公開范圍內，仍可作一些修正或改變，故本發明的權利保護范圍以權利要求書限定的范圍為準。