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[發明專利]表面處理用轉筒在審

專利信息
申請號: 201310684244.1 申請日: 2013-12-13
公開(公告)號: CN104711531A 公開(公告)日: 2015-06-17
發明(設計)人: 王進東;張紀功;王湛;饒曉雷;胡伯平 申請(專利權)人: 北京中科三環高技術股份有限公司
主分類號: C23C14/50 分類號: C23C14/50
代理公司: 北京航忱知識產權代理事務所(普通合伙) 11377 代理人: 陳立航;郭麗
地址: 100190 北京市海淀區中*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 表面 處理 用轉筒
【權利要求書】:

1.一種表面處理用轉筒,用于在進行表面處理時放置待處理的基體,由金屬網形成封閉空間,在所述轉筒的內表面具有多個限制基體移動的阻擋件,相鄰阻擋件與所述轉筒的內表面形成向內開放的空間,所述空間用于放置待處理的基體。

2.根據權利要求1所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述阻擋件是從所述轉筒的內表面向內凸的凸部。

3.根據權利要求1所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述阻擋件的高度為待處理基體的高度的50%以上。

4.根據權利要求3所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述阻擋件的高度為待處理基體的高度的兩倍以上

5.根據權利要求1所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述轉筒呈圓筒狀。

6.根據權利要求5所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述阻擋件是從所述表面處理用轉筒的內表面沿徑向向內凸的凸部。

7.根據權利要求1所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述表面處理包括干法表面處理和濕法表面處理。

8.根據權利要求1所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述表面處理是真空氣相沉積處理。

9.根據權利要求1所述的表面處理用轉筒,其特征在于,所述基體是釹鐵硼永磁體。

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