[發明專利]單晶爐放氣閥

在審

• 申請號: 201310682322.4
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN104711665A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 潘燕萍
• 申請（專利權）人: 常州市天龍光電設備有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

技術領域

本發明涉及單晶爐裝置技術領域，特別涉及單晶爐放氣閥。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。其中生產出的而單晶硅又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。單晶硅目前世界上最重要的單晶材料之一，它不但是集成電路的主要材料，更是太陽能電池的的主要材料。因此單晶爐的質量好壞直接關系著晶硅的質量?，F有的單晶硅的放氣裝置是直接將密封螺母密封后，放氣時直接將螺母旋下進行放氣，這種放氣裝置容易發生惰性氣體的泄漏，印象惰性氣體的質量。

發明內容

本發明的目的是提供一種提高放氣裝置密封率的單晶爐放氣閥。

實現本發明的技術方案如下：

單晶爐放氣閥，包括固定在放氣管上的閥座以及設于閥座外部的放氣閥螺母，以及設置在放氣閥螺母內的密封頂針，密封頂針插入閥座的內孔內，所述閥座出氣截面之內周面向內凸設有一環形凸緣，環形凸緣具有一朝向出氣端的密封面；所述密封頂針之周面上套設有一與環形凸緣相匹配的密封圈；閥座外周面上設有凸起的臺階，放氣閥螺母側壁設有限位部件伸入臺階下。

所述密封面采用傾斜面。增加密封性能。

所述的限位部件為螺栓，放氣閥螺母側壁上設有螺紋孔，螺栓與螺紋孔配合，螺栓頭端伸入臺階下進行限位。方便拆卸。

所述密封頂針頂端側壁設有彈性凸起，閥座的內孔中設有與彈性凸起配合的凹槽。增加密封性能。

所述密封圈的外徑介于環形凸緣的傾斜密封面的最大直徑和最小直徑之間。這個范圍內密封效果最佳。

本發明的有益效果是：利用套設在密封頂針之周面上的密封圈位于閥座出氣截面之內周面的環形凸緣內，提高了單晶爐的放氣密封性，提高了單晶硅的產品質量，降低了生成成本。

附圖說明

通過下面結合附圖的詳細描述，本發明前述的和其他的目的、特征和優點將變得顯而易見。

其中：圖1為本發明第一種實施方式結構示意圖；

圖2為本發明第一種實施方式結結構示意圖；

附圖中，1為放氣閥螺母，2為密封頂針，3為出氣截面，4為環形凸緣，5為密封圈，6為臺階，7為限位部件，8為螺栓，9為彈性凸起，10為凹槽，11為閥座。

具體實施方式

本發明第一種實施方式，參見圖1所示，單晶爐放氣閥，包括固定在放氣管上的閥座11以及設于閥座外部的放氣閥螺母1，以及設置在放氣閥螺母內的密封頂針2，密封頂針2插入閥座11的內孔內，所述閥座出氣截面3之內周面向內凸設有一環形凸緣4，環形凸緣4具有一朝向出氣端的密封面；所述密封頂針2之周面上套設有一與環形凸緣4相匹配的密封圈5；閥座外周面上設有凸起的臺階6，放氣閥螺母側壁設有限位部件7伸入臺階6下；所述的限位部件為螺栓8，放氣閥螺母側壁上設有螺紋孔，螺栓與螺紋孔配合，螺栓頭端伸入臺階下進行限位。由于設置了一個與密封圈5相適配的環形凸緣4，當密封圈在環形凸緣內移動時，密封效果好；通過螺栓與螺紋孔配合實現將放氣閥螺母固定在閥座上。

本發明第二種實施方式，參見圖2所示，所述閥座的出氣截面面積沿放氣閥螺母滑動方向漸變。該漸變和氣流氣壓配合能夠實現流量調節；并且所述閥座的出氣截面面積沿放氣閥螺母滑動方向漸變大。由于，出氣通道的出氣截面面積沿放氣閥螺母滑動方向漸變大，使得出氣截面面積和放氣閥螺母的橫截面面積之差逐漸變大。能夠保證排氣量均勻，實現穩定的調節作用。

優選的，所述密封面采用傾斜面，以增加密封性能。

優選的，所述密封頂針頂端側壁設有彈性凸起9，閥座的內孔中設有與彈性凸起9配合的凹槽10。增加密封性能。

優選的，所述密封圈的外徑介于環形凸緣的傾斜密封面的最大直徑和最小直徑之間。在該范圍內密封效果好。

優選的，所述密封圈采用柔性密封，密封效果好。