[發明專利]用于微細電解加工的線電極陣列結構制備方法有效
| 申請號： | 201310681914.4 | 申請日： | 2013-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN103706899A | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 王權岱;肖繼明 | 申請（專利權）人： | 西安理工大學 |
| 主分類號： | B23H3/04 | 分類號： | B23H3/04 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 微細 電解 加工 電極 陣列 結構 制備 方法 | ||
1.一種用于微細電解加工的線電極陣列結構制備方法，其特點在于，具體包括以下步驟：
步驟1、金屬基板的預處理；
步驟2、制作圖形化掩蔽膜；
步驟3、掩膜電解深刻蝕
以表面圖形化的金屬基板（1）為陽極進行電解加工，得到掩膜電解深刻蝕加工制作線電極模板中的工具陰極（5），根據光刻膠圖形寬度及電解電流密度確定電解刻蝕時間，直到得到頂部尖的金屬柵線陣列圖形；
步驟4、去除背面材料，去除與已制作的金屬柵線對應的背部材料，得到與邊框一體的線電極陣列（6），即成。
2.根據權利要求1所述的用于微細電解加工的線電極陣列結構制備方法，其特點在于，所述的步驟1中，金屬基板（1）采用銅材料，對金屬基板（1）進行拋光處理，使表面粗糙度Ra≤0.3，然后依次使用丙酮、酒精和去離子水清洗，再用氮氣吹干后烘干。
3.根據權利要求1所述的用于微細電解加工的線電極陣列結構制備方法，其特點在于，所述的步驟2中，具體流程包括：
前烘，將清洗干凈的金屬基板（1）在110℃-120℃下烘烤10-15min；
涂膠，采用旋涂法在金屬基板（1）表面涂覆一層2-5μm厚的光刻膠（2）；
中烘，溫度100℃-110℃，時間10-15min；
曝光，在光刻膠（2）外表面覆蓋一層掩膜版（3），并進行曝光，曝光時間8-10s；
顯影，顯影液選用質量濃度為4‰-6‰的NaOH溶液，顯影時間為55-65s，得到光刻膠線條圖形，即得到曝光顯影后金屬基板（1）表面的圖形化光刻膠（4）。
4.根據權利要求1所述的用于微細電解加工的線電極陣列結構制備方法，其特點在于，所述的步驟3中，工藝參數為：電解液選用質量濃度為5％-10％NaNO3和5％-10%的NaCl混合液，電流密度為5-20A/dm2，電壓為2-5V，間距為20-30mm，電解刻蝕在超聲環境中進行。
5.根據權利要求1所述的用于微細電解加工的線電極陣列結構制備方法，其特點在于，所述的步驟4中，去除方法優選掩膜電解、柱電極電解、激光加工方法。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于西安理工大學，未經西安理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310681914.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種水射流磨料罐運輸車
- 下一篇：一種運載電焊機的手推車
