[發明專利]原子層沉積裝置

無效

• 申請號: 201310681160.2
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN103866287A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 全鎣卓;崔鶴永
• 申請（專利權）人: 麗佳達普株式會社
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/455
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種原子層沉積裝置，包括：

腔室，在內部形成有密閉的反應空間；

第一氣體吸排單元，向位于所述腔室內部的基板吸入或排出第一氣體；

第二氣體吸排單元，向所述基板吸入或排出第二氣體；以及

真空排氣管，設置于所述第一氣體吸排單元和所述第二氣體吸排單元之間，用于在所述第一氣體吸排單元和所述第二氣體吸排單元之間形成真空；

所述基板沿著與所述第一氣體吸排單元、所述第二氣體吸排單元或所述真空排氣管中至少一個的長度方向交叉的方向進行相對運動。

2.根據權利要求1所述的原子層沉積裝置，其特征在于，還包括：

第一供氣部，連接于所述第一氣體吸排單元，以供給第一氣體；

第二供氣部，連接于所述第二氣體吸排單元，以供給第二氣體；以及

抽真空部，連接于所述真空排氣管，用于在所述腔室內部形成真空；

所述抽真空部還與所述第一氣體吸排單元或所述第二氣體吸排單元中的至少一個連接。

3.根據權利要求2所述的原子層沉積裝置，其特征在于，所述第一氣體吸排單元和所述第二氣體吸排單元包括：

供氣管，在內部形成有供氣流道；

排氣管，在內部形成有與所述供氣流道連通的壓力緩和部；以及

吸氣管，包圍所述排氣管外周面的至少一部分，以在內部形成吸氣流道。

4.根據權利要求3所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

所述壓力緩和部的內部體積大于所述供氣流道的內部體積。

5.根據權利要求3所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

在所述供氣管形成有與所述第一供氣部或所述第二供氣部連接的至少一個供氣接口。

6.根據權利要求5所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

在所述吸氣管形成有與所述抽真空部連接的至少一個排氣接口。

7.根據權利要求6所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

所述排氣接口被形成于所述腔室的吸入氣體收集部以密閉方式包圍，

所述吸入氣體收集部與所述抽真空部連接。

8.根據權利要求3所述的原子層沉積裝置，其特征在于，所述真空排氣管包括：

抽氣管，在內部形成有與所述抽真空部連接的抽氣流道；

吸氣引導部，在內部形成有與所述抽氣流道連通的吸氣接口。

9.根據權利要求8所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

所述真空排氣管還包括抽氣管，所述抽氣管在內部具有連通所述抽氣流道和所述抽氣接口之間的壓力緩和部。

10.一種原子層沉積裝置，包括：

腔室，在內部形成有密閉的反應空間；

第一排氣管，向位于所述腔室內部的基板排出第一氣體；

第二排氣管，向所述基板排出第二氣體；以及

真空排氣管，設置于所述第一排氣管和所述第二排氣管之間，用于在所述第一排氣管和所述第二排氣管之間形成真空；

所述基板沿著與所述第一排氣管、所述第二排氣管或所述真空排氣管中至少一個的長度方向交叉的方向進行相對運動。

11.根據權利要求10所述的原子層沉積裝置，其特征在于，還包括：

第一供氣部，連接于所述第一排氣管，以供給第一氣體；

第二供氣部，連接于所述第二排氣管，以供給第二氣體；以及

抽真空部，連接于所述真空排氣管，用于在所述腔室內部形成真空。

12.根據權利要求11所述的原子層沉積裝置，其特征在于，所述第一排氣管和所述第二排氣管包括：

供氣管，在內部形成有供氣流道；

排氣管本體，在內部形成有與所述供氣流道連通的壓力緩和部；以及

排氣部，以與所述供氣流道對置的方式形成于所述壓力緩和部。

13.根據權利要求12所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

所述壓力緩和部的內部體積大于所述供氣流道的內部體積。

14.根據權利要求12所述的原子層沉積裝置，其特征在于，

在所述供氣管形成有與所述第一供氣部或所述第二供氣部連接的至少一個供氣接口。