[發(fā)明專利]一種介電超晶格材料周期測量儀及其使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310680682.0
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN103674895A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設計）人: 呂新杰;劉奕辰;蔣旭東;居盼盼;趙剛;祝世寧
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 陳建和

1.一種介電超晶格材料周期測量儀，其特征在于：包括激光光源（1）、屏幕（7）和刻度裝置（3），待測介電超晶格材料放置于激光光源（1）和刻度裝置（3）之間，所述激光光源（1）垂直于待測介電超晶格材料表面，所述屏幕（7）平行于待測介電超晶格材料表面，所述刻度裝置（3）置于屏幕（7）上。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種介電超晶格材料周期測量儀，其特征在于：所述激光光源（1）的光束口徑為0.1～1mm，波長λ為400～800nm。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種介電超晶格材料周期測量儀，其特征在于：所述待測介電超晶格材料放置于載物臺（2）內(nèi)，所述載物臺（2）上設置有位移微調(diào)裝置。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種介電超晶格材料周期測量儀，其特征在于：所述刻度裝置（3）包含標準標尺軸和對應級數(shù)標尺軸，所述標準標尺軸上刻有標準刻度，所述對應級數(shù)標尺軸按照如下方法標注：設定波長為λ、刻度裝置（3）與待測介電超晶格材料之間的距離為D時，基于公式取衍射條紋級數(shù)N=1、3、5、7，分別對應制作4個對應級數(shù)標尺軸，利用標準標尺軸測量對應級數(shù)的衍射條紋與刻度裝置的零點之間的距離為x，不斷改變x的大小，在每個對應級數(shù)標尺軸上按照上述公式計算得到每個x對應的周期d，并在對應級數(shù)標尺軸上的x處注明該處對應的周期d。

5.根據(jù)權利要求3所述的一種介電超晶格材料周期測量儀，其特征在于：所述待測介電超晶格材料放置于載物臺（2）內(nèi)的平臺（5）上，所述平臺（5）透明。

6.根據(jù)權利要求4所述的一種介電超晶格材料周期測量儀，其特征在于：所述刻度裝置（3）具有中心轉(zhuǎn)軸，且標準標尺軸和對應級數(shù)標尺軸的零點均重合于中心轉(zhuǎn)軸處。

7.一種介電超晶格材料周期測量儀的使用方法，其特征在于：選擇激光波長為設定的波長λ，打開激光光源（1），發(fā)射出波長λ的激光垂直照射至待測介電超晶格材料表面，刻度裝置（3）的零點對準激光光源（1），保持刻度裝置（3）與待測介電超晶格材料之間的距離為D不變，觀察衍射條紋，在對應級數(shù)標尺軸上找出所對應級數(shù)的衍射條紋的位置，并讀取對應級數(shù)標尺軸在該位置處標注的周期d。