[發明專利]一種基于柔性襯底的傳感器模塊

有效

• 申請號: 201310680558.4
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN103645215B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 梁圣法;李冬梅;李小靜;張浩;羅慶;周磊;劉明;謝常青;楊洪璋
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;G01N27/22;G01N27/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 任巖

1.一種基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，該傳感器模塊包括傳感器部分及天線部分，二者均以柔性絕緣材料為襯底，并通過導線或夾具連接，其中，傳感器部分用于感知外部敏感信號，天線部分用于無線信號的傳輸及接收，二者結合實現在無線情況下對外部敏感信號的檢測及傳輸。

2.根據權利要求1所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，該柔性絕緣材料是聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二酯或特殊紙制材料。

3.根據權利要求1所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，該傳感器部分是在柔性絕緣材料襯底之上制作的各種傳感器，這些傳感器的平面結構各異，至少為圓形、橢圓形、正方形、長方形或不規則圖形，且均能夠彎曲成各種形狀，以適應各種不同的測試環境。

4.根據權利要求3所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，所述在柔性絕緣材料襯底之上制作的傳感器是氣體傳感器或濕度傳感器。

5.根據權利要求4所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，所述氣體傳感器是在柔性絕緣材料襯底上制作出兩個電極條，然后在兩個電極條之間制作氣敏涂層。

6.根據權利要求5所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，所述在兩個電極條之間制作的氣敏涂層，其采用的敏感膜是有機高分子聚合物、金屬氧化物、或有機高分子聚合物與金屬氧化物的混合物；其采用的涂覆方法包括滴涂、浸涂、熱蒸發或打印。

7.根據權利要求6所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，所述有機高分子聚合物為聚吡咯或聚苯胺，所述金屬氧化物為Mo₃、Sn₂、ZnO或Ni。

8.根據權利要求1所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，該傳感器部分的尺寸控制在50微米×50微米至1m×1m范圍內。

9.根據權利要求1所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，該天線部分能夠根據需求彎曲成不同的形狀，且可在特定外形輪廓下進行微調，以實現最佳接收或發送的效果。

10.根據權利要求9所述的基于柔性襯底的傳感器模塊，其特征在于，該天線部分是喇叭天線、環形天線或可彎曲天線。