[發明專利]一種等離子體中離子種類與數量密度分布的測量方法無效
| 申請號： | 201310677178.5 | 申請日： | 2013-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN103635004A | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 許盛之;趙穎;張曉丹;魏長春 | 申請（專利權）人： | 南開大學 |
| 主分類號： | H05H1/00 | 分類號： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 天津佳盟知識產權代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子體 離子 種類 數量 密度 分布 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種等離子體中離子種類與數量密度分布的測量方法，其特征在于：在測量裝置上進行，所述測量裝置包括鉑金屬探針、真空封接裝置、同軸屏蔽電纜和數字存儲示波器，鉑金屬探針置入待測等離子體的真空腔室內，鉑金屬探針穿過真空封接裝置并通過同軸屏蔽電纜與數字存儲示波器連接，測量步驟如下：
1）將用于測量等離子體的金屬探針置入待測等離子體的真空腔室內并通過真空封接裝置將真空腔室密封；
2）在真空腔室內通入沉積鍍膜氣體硅烷和平衡氣體氫氣，調節反應氣體的壓力在1000帕斯卡以下，施加的功率密度為1-100W/cm2,使之發生輝光放電；
3）采用數字存儲示波器記錄不同硅烷氣體流量情況下所測得的電流、電壓信號的時域波形和頻域波形，時域波形和頻域波形均由帶電離子的荷質比以及探針周圍的電場分布決定；
4）通過分析波形的諧波組成和震蕩幅度，結合離子在電場中的運動模型和探針對離子的收集模型，獲得等離子體中的離子種類與數量密度分布。
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