[發明專利]一種MEMS開關仿真分析方法在審
| 申請號： | 201310675674.7 | 申請日： | 2013-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN103678804A | 公開（公告）日： | 2014-03-26 |
| 發明（設計）人： | 苗曉丹;戴旭涵;黃奕 | 申請（專利權）人： | 上海工程技術大學 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201620 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 開關 仿真 分析 方法 | ||
1.一種MEMS開關仿真分析方法，其特征在于，包括如下步驟：
a)建立MEMS開關的有限元模型；
b)分析MEMS開關在通電情況下的輸出性能及內部磁場強度分布情況；
c)根據分析結果，對MEMS開關的結構進行優化。
2.如權利要求1所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于，步驟a)包括如下操作步驟：
①創建MEMS開關的三維幾何模型并設置材料屬性和網格劃分單元類型；
②對創建的三維幾何模型進行網格劃分；
③對進行網格劃分的模型施加約束。
3.如權利要求2所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：步驟①設置SOLID96作為網格劃分單元類型。
4.如權利要求2所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：步驟②采用自由劃分網格方式進行網格劃分。
5.如權利要求2所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：步驟③對進行網格劃分的模型施加6個自由度的邊界條件約束。
6.如權利要求1-5任一項所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：所述的MEMS開關包括電磁驅動器和設置在其頂部的磁性平臺及其兩者之間的氣隙。
7.如權利要求6所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：所述的電磁驅動器由平面線圈及磁軛構成，所述的磁性平臺位于平面線圈的上方，所述的磁軛分布于平面線圈的中央、邊緣和底部。
8.如權利要求7所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：所述的平面線圈由銅電鍍而成。
9.如權利要求7所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：所述的磁軛由鐵鎳材料電鍍而成。
10.如權利要求7所述的MEMS開關仿真分析方法，其特征在于：所述的磁性平臺由鐵鎳材料電鍍而成。
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