[發明專利]厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法有效
| 申請號： | 201310674407.8 | 申請日： | 2013-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN103635026A | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 鄭陽恒;劉宏邦;劉倩;謝一岡;陳石;周曉康;董洋;張強;李雪冰;張煒;汪晶;常潔 | 申請（專利權）人： | 中國科學院大學;北京新立機械有限責任公司 |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 100049 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 電子 倍增 探測器 制作方法 | ||
1.厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）將雙面敷銅板剪裁成生產板加工尺寸，清洗干凈待用；
（2）在雙面敷銅板上鉆定位孔；
（3）在雙面敷銅板的兩面同時壓光致抗蝕干膜；
（4）將外圖形菲林與壓好光致抗蝕干膜的電路板對好位后放在曝光機上進行曝光，并在100℃烘烤3min；
（5）用NaCO3溶液進行顯影；
（6）用蝕刻液蝕刻去銅；
（7）用退膜液將光致抗蝕干膜退掉；
（8）用數控機床將雙面敷銅板打出孔陣列；
（9）用雙面噴淋蝕刻機噴淋雙面敷銅板。
2.根據權利要求1所述的厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法，其特征在于，在步驟（5）中，NaCO3溶液的濃度為1%（w/v），噴淋速度為0.8m/min。
3.根據權利要求1所述的厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法，其特征在于，在步驟（6）中，蝕刻液的組成為：
4.根據權利要求1所述的厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法，其特征在于，在步驟（8）中，數控機床的鉆孔速度為110,000rpm，進給速度為3.0m/min。
5.根據權利要求1所述的厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法，其特征在于，在步驟（9）中，噴淋液的組成為：
6.根據權利要求5所述的厚型氣體電子倍增探測器膜板的制作方法，其特征在于，在步驟（9）中，噴淋的壓力為255-357KPa，溫度為48-55℃，時間為0.5-2s。
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