[發明專利]一種硅片自動插片機

有效

• 申請號: 201310673592.9
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN103681968A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 王燕清;周昕
• 申請（專利權）人: 無錫先導自動化設備股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片自動插片機，包括料盒擺放臺（1）、升降平臺（2）、輸送機（3）、旋轉搬運裝置（4）、機架（5）、頂塊裝置（6），其中，所述機架（7）上固設有料盒擺放臺（1），在料盒擺放臺（1）下方設置有將料盒擺放臺（1）上的硅片頂起的頂塊裝置（6），在機架（7）上固設有旋轉搬運裝置（4），其特征在于：

所述旋轉搬運裝置（4）包括第一吸盤（4.2）、轉盤（4.5）、L支座（4.6）、第二連接塊（4.9）、第一旋轉機構、第一移動機構，其中，所述轉盤（4.5）上均布連接有四個第二連接塊（4.9），所述第二連接塊（4.9）上滑動連接有L支座（4.6），所述L支座（4.6）下端面固定安裝有第一吸盤（4.2），所述第一旋轉機構能驅動轉盤（4.5）旋轉分度90°，所述第一移動機構能實現所述第一吸盤（4.2）的升降運動；

所述旋轉搬運裝置（4）的內側和外側分別設置有輸送機（3）；

所述輸送機（3）的左側與右側分別設置有所述升降平臺（2），所述輸送機（3）包括第一移動板（3.3）、第二移動板（3.7）、第一移動驅動機構、第二移動驅動機構，其中，所述第一移動驅動機構用于將第一移動板（3.3）上的硅片傳送至左側的升降平臺（2）上，所述第二移動機構用于將第二移動板（3.7）上的硅片傳送至右側的升降平臺（2）上。

2.如權利要求1所述的一種硅片自動插片機，其特征在于：所述第一旋轉機構包括第二電機（4.1）、安裝座（4.7）、減速機（4.8），其中，所述安裝座（4.7）固定于機架（7）上，在所述安裝座（4.7）內部固設有第二電機（4.1），所述第二電機（4.1）的輸出端固定連接有減速機（4.8），在所述減速機（4.8）輸出端固定連接有轉盤（4.5）。

3.如權利要求1所述的一種硅片自動插片機，其特征在于：所述第一移動機構包括第一滑塊（4.3）、第一氣缸（4.4）、L支座（4.6），其中，所述第二連接塊（4.9）上表面固定連接有第一氣缸（4.4），在所述第二連接塊（4.9）側面固定連接有第一滑塊（4.3），所述L支座（4.6）的側面固定有線軌，且所述線軌滑動連接于第一滑塊（4.3），所述第三氣缸（4.4）的活塞桿固定連接于L支座（4.6）上端的連接板。