[發明專利]氣體激光器、氣體激光器氣路系統及其防油耗控制方法

在審

• 申請號: 201310670266.2
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN104701714A
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 李建;周建平;周桂兵;陳根余;陳燚;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種氣體激光器氣路系統，其特征在于，包括：

諧振腔；

用于將工作氣體驅動至所述諧振腔內部的氣體驅動裝置，所述氣體驅動裝置的輸出端通過第二管路連通于所述諧振腔的輸入端，所述氣體驅動裝置的輸入端通過第三管路連通于所述諧振腔的輸出端；

用于將所述諧振腔內部抽真空的抽真空裝置，所述抽真空裝置的第一連接端通過第四管路連通于所述諧振腔的輸出端，且所述抽真空裝置的第二連接端通過第五管路與所述氣體驅動裝置的輸出端連通；

用以將所述氣體驅動裝置的非正常損耗潤滑油收集并將其返還至所述氣體驅動裝置的防潤滑油損耗裝置，所述防潤滑油損耗裝置設于所述第五管路上并與所述抽真空裝置連通；及

用以控制所述氣體驅動裝置、所述抽真空裝置及所述防潤滑油損耗裝置的控制裝置，其分別與所述氣體驅動裝置、所述抽真空裝置、所述防潤滑油損耗裝置連接。

2.如權利要求1所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述防潤滑油損耗裝置包括將從所述氣體驅動裝置流向所述抽真空裝置的潤滑油蒸汽冷凝收集的冷凝收集器及用以控制所述第五管路的第一控制閥；

所述冷凝收集器包括有用以冷凝分離氣態潤滑油的冷凝部和用以收集經所述冷凝部冷凝為液態潤滑油的收集部，所述冷凝部套入所述第五管路并與所述第五管路連通；

所述第一控制閥設于所述第五管路上且位于所述冷凝收集器與所述抽真空裝置之間，且該第一控制閥配設有兩個連接管路，其分別為第一連接管路和第二連接管路，所述第一連接管路與所述冷凝部呈常開連接，所述第二連接管路與外界大氣呈常閉連接。

3.如權利要求2所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述冷凝收集器還配設有用以將所述收集部收集的潤滑油送回至所述氣體驅動裝置的返回驅動裝置，且該返回驅動裝置與所述控制裝置電連接。

4.如權利要求2所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述冷凝收集器位于所述氣體驅動裝置的上方。

5.如權利要求3或4所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述防潤滑油損耗裝置還包括用以連通所述收集部與所述氣體驅動裝置兩者的回流管路及用以控制所述回流管路的連通或關閉的第二控制閥，所述第二控制閥設于所述回流管路上，且所述第二控制閥與所述控制裝置電連接。

6.如權利要求5所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述第二控制閥為單通電磁閥。

7.如權利要求1所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述氣路系統還包括用以檢測所述氣體驅動裝置的潤滑油油位并且在該潤滑油油位小于或等于預設油位值便發生報警的油位檢測單元、用以檢測所述氣體驅動裝置的潤滑油是否損耗的耗油檢測單元、用以檢測所述諧振腔內部氣壓是否大于或等于預設氣壓值的氣壓檢測單元，且所述油位檢測單元、所述耗油檢測單元、所述氣壓檢測單元分別與所述控制裝置電連接。

8.如權利要求7所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述耗油檢測單元包括有在預設倒計時間內倒計測量需要往所述氣體驅動裝置添加潤滑油的時間的第一倒計時器，所述第一倒計時器與所述控制裝置電連接；

其中，當所述第一倒計時器的倒計時間T1＞0，則表示所述氣體驅動裝置尚未到達收集損耗潤滑油的周期；當所述第一倒計時器的倒計時間T1=0，則表示所述氣體驅動裝置達到收集損耗潤滑油的周期。

9.如權利要求8所述的氣體激光器氣路系統，其特征在于：所述耗油檢測單元還包括有在預設倒計時間內倒計測量收集在所述收集部的潤滑油返回至所述氣體驅動裝置的時間的第二倒計時器，所述第二倒計時器與所述控制裝置電連接；

其中，當所述第二倒計時器的倒計時間T2＞0，則所述第一控制閥的所述第一連接管路關閉而所述第二連接管路打開、所述第二控制閥打開，收集在所述收集部的潤滑油開始返回至所述氣體驅動裝置；當所述第二倒計時器的倒計時間T2=0，則所述第一控制閥的所述第一連接管路打開而所述第二連接管路關閉、所述第二控制閥關閉，收集在所述收集部的潤滑油全部返回至所述氣體驅動裝置。

10.一種氣體激光器，其特征在于：具有權利要求1-9任一項所述的氣路系統。