[發明專利]一種毛細玻璃管內壁等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201310666596.4
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN103681197A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 沈文凱;王紅衛
• 申請（專利權）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/04
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

1.?一種毛細玻璃管內壁等離子體處理裝置，其特征在于，包括電極組件、高頻電源和負壓裝置，所述電極組件包括第一電極件和第二電極件，所述第二電極件上設置有貫通所述第二電極件的第二腔體，所述第一電極件套設于所述第二腔體中，所述第一電極件外表面與所述第二腔體壁之間形成用于放置毛細玻璃管的反應腔，所述第一電極件與所述高頻電源正極連接，所述第二電極件接地，所述負壓裝置與毛細玻璃管一端連接。

2.?根據權利要求1所述的毛細玻璃管內壁等離子體處理裝置，其特征在于，所述第一電極件上設置有貫通所述第一電極件的第一腔體。

3.?根據權利要求2所述的毛細玻璃管內壁等離子體處理裝置，其特征在于，所述第一電極件和所述第二電極件為中空圓柱體狀并且圓柱軸心在同一直線上。

4.?根據權利要求3所述的毛細玻璃管內壁等離子體處理裝置，其特征在于，還包括用于放置所述電極組件的絕緣底座，所述電極組件設置于所述絕緣底座上。